Валидация процесса и контроль рисков: Подбор вместимости плазменной установки очистки
Для темы «Валидация процесса и контроль рисков: Подбор вместимости плазменной установки очистки» сначала определите конечные критерии годности конкретного материала и фактическую загрузку. Следующая информация предназначена для обсуждения требований и проверки на образцах. Параметры необходимо подтверждать по данным о материале и конкретной конфигурации оборудования.
Определяйте вместимость плазменной установки по компоновке держателя, затенению и полезному пространству обработки; проверяйте различия позиций контрольными образцами.
Последовательность валидации процесса
-
Описывайте цель масштабирования полезной площадью поддонов, числом слоёв изделий, расстояниями и тепловой нагрузкой партии; Отношение номинальных объёмов нельзя напрямую пересчитывать в производительность.
-
Сохраняйте конечный критерий материала и температурное окно образца из лабораторных испытаний; заново измеряйте время нагрева, откачки, замещения газа и охлаждения большой камеры.
-
Сравнивайте лабораторные и пилотные результаты в наиболее неблагоприятных позициях загрузки, затем оценивайте количество годных изделий за партию и полный цикл.
Испытания образцов и приёмка
В отчёте о валидации необходимо указать датчики и состояние их калибровки, исходные кривые, результаты для материала, отклонения и основания для принятия либо пересмотра процесса. Если результаты расходятся, сначала разграничьте изменения состояния образцов, загрузки и работы оборудования, а затем корректируйте параметры.
Проверка конфигурации по каталогу
Модели-кандидаты в текущем опубликованном каталоге: ESC-2V, ESC-5V . Эти модели служат кандидатами для сравнения вариантов. Их пригодность всё равно определяется проверкой в описанных выше условиях эксплуатации.
Для этого сравнения не были получены проверенные числовые параметры, разрешённые к публикации; Следует запросить актуальную спецификацию и условия испытаний с реальной загрузкой.
