Ключевые вопросы выбора оборудования: Подбор вместимости плазменной установки очистки
Для темы «Ключевые вопросы выбора оборудования: Подбор вместимости плазменной установки очистки» сначала определите конечные критерии годности конкретного материала и фактическую загрузку. Следующая информация предназначена для обсуждения требований и проверки на образцах. Параметры необходимо подтверждать по данным о материале и конкретной конфигурации оборудования.
Определяйте вместимость плазменной установки по компоновке держателя, затенению и полезному пространству обработки; проверяйте различия позиций контрольными образцами.
Основания для выбора конфигурации оборудования
-
Описывайте цель масштабирования полезной площадью поддонов, числом слоёв изделий, расстояниями и тепловой нагрузкой партии; Отношение номинальных объёмов нельзя напрямую пересчитывать в производительность.
-
Сохраняйте конечный критерий материала и температурное окно образца из лабораторных испытаний; заново измеряйте время нагрева, откачки, замещения газа и охлаждения большой камеры.
-
Сравнивайте лабораторные и пилотные результаты в наиболее неблагоприятных позициях загрузки, затем оценивайте количество годных изделий за партию и полный цикл.
Испытания образцов и приёмка
До испытания зафиксируйте исходное состояние образцов, схему загрузки, версию рецептуры и метод измерения. Заранее согласуйте конечный критерий приемлемости, затем сравните исходные кривые для разных позиций загрузки и результаты обработки материала. Уставку оборудования нельзя напрямую считать доказательством соответствия продукта.
Проверка конфигурации по каталогу
Модели-кандидаты в текущем опубликованном каталоге: ESC-2V, ESC-5V . Эти модели служат кандидатами для сравнения вариантов. Их пригодность всё равно определяется проверкой в описанных выше условиях эксплуатации.
Для этого сравнения не были получены проверенные числовые параметры, разрешённые к публикации; Следует запросить актуальную спецификацию и условия испытаний с реальной загрузкой.
