ESC-BVO72-T6
ESC-BVO72-T6 진공 강제순환 질소 오븐
안승의 ESC-BVO72-T6 진공 강제순환 질소 오븐 모델은 반도체, 광전자 및 정밀 금속 부품 산업에 맞춰 설계된 72L 표준형 열처리 장비입니다. T6 초고온 운전을 지원하며 최고 온도는 600℃입니다. 온도 제어 정밀도는 ±0.5℃입니다. 온도장 균일도는 ±2.5%입니다. 극한 공정 환경에서 매우 높은 온도 안정성을 확보합니다.
소재의 합격 판정 종점을 기준으로 장비 구성을 비교합니다. 각 기능과 성능은 선택한 모델에서 확인해야 합니다.
BVO와 NVO의 차이는 해당 모델의 팬, 진공 및 질소 주입 실행 방식으로 구체적으로 확인해야 합니다. 트레이에 실은 배치 공작물은 순환 기류 조건의 균일도를 중점적으로 검증합니다; 분말, 박막 또는 분진이 날리기 쉬운 시료는 기류에 의한 교란도 확인해야 합니다.
허용 산소 농도, 해당 상태에 도달하는 시간 및 유지 단계를 각각 별도로 검수합니다; 질소 순도, 공급 압력 및 가스 소비량을 기록합니다.
산소 분석기의 시료 채취 위치, 응답 지연 및 교정 방법을 명확히 합니다. 실제 적재 상태와 문을 연 뒤 회복하는 조건에서 시험해야 합니다. 공급 가스의 순도를 챔버 내 산소 농도로 대신해서는 안 됩니다.
진공 배기, 질소 주입 및 가열의 실행 순서와 진공 모드에서 순환 팬을 작동할 수 있는지 각각 확인합니다. 압력 전환에 민감한 시료는 먼저 소량 시료로 검증합니다.
냉각 및 꺼내기 단계에서도 산화와 재흡습 위험을 계속 확인합니다; 배기 경로, 가스 공급 중단 시 대응 및 현장 환기 조건도 확인합니다.
시험 전에 시료의 초기 상태, 적재 배치, 레시피 버전 및 측정 방법을 기록합니다. 합격 판정 기준을 미리 합의한 다음, 서로 다른 적재 위치의 원시 곡선과 처리 후 소재 결과를 비교합니다. 장비 설정값을 제품 합격의 직접적인 증거로 사용해서는 안 됩니다.
현재 공개된 카탈로그의 후보 모델: ESC-BVO1000-T6, ESC-BVO125-T6, ESC-BVO216-T6, ESC-BVO343-T6. 이 모델들은 구성안 비교를 위한 후보입니다. 실제 적합성은 위 운전 조건에서의 검증 결과에 따라 판단해야 합니다.
CMS에서 검증 완료 및 공개 허용으로 표시된 매개변수(아래 기재된 모델에만 해당):