클린 오븐

명칭만으로 보장할 수 없습니다. 공작물, 포장, 트레이, 도어 개방 작업 및 필터 유지보수 모두 입자를 유입시킬 수 있습니다. 지정된 운전 조건에서 챔버 내부 환경을 검사하고 적절한 방법으로 공작물 표면을 평가해야 합니다.

클린룸 조건과 장비 내부 성능은 각각 확인해야 합니다. 장비의 필터, 밀봉, 순환 기류 및 적재 작업이 챔버 내부 입자에 영향을 주므로 실제 설치 및 운전 조건에서 검증해야 합니다.

CLO는 청정 가열과 입자 제어를 중점적으로 평가하고 LCO는 입자와 산화 방지 요구를 함께 평가합니다. 구체적인 분위기 및 필터 구성은 모델별로 확인해야 하며 두 지표는 서로 대체할 수 없습니다.

먼저 폴리이미드 재료의 경화 공정 범위, 잔류 용제 및 표면 입자 요구에 따라 온도, 배기 및 필터 방안을 정합니다. PI 경화로를 선정할 때는 저산소 요구도 확인해야 하며 해당 요구가 있으면 LCO를 비교할 수 있습니다. CLO 적용은 무부하 청정도 등급만으로 판단하지 말고 실제 코팅의 경화, 부착력 및 입자 검사 결과로 검증해야 합니다.

포토레지스트의 프리베이크, 포스트베이크와 PI 경화는 재료 처리 목적과 온도 범위가 다르므로 각 배합의 요구에 따라 프로그램을 별도로 설정해야 합니다. 용제 방출, 필터의 내열성 및 상호 오염 영향도 평가해야 하며 장비를 공용하기 전에 세척 절차, 잔류물 및 공작물 표면 결과를 검증해야 합니다.

교체 주기는 운전 온도, 재료의 가스 방출, 입자 부하 및 도어 개방 작업에 따라 달라집니다. 차압, 풍량, 입자 검사 및 필터 상태를 함께 검토해 유지보수 계획을 세워야 합니다. 교체 후에는 설치부 밀봉을 확인하고 지정 운전 조건에서 입자와 온도 분포를 다시 측정해야 하며 고정된 개월 수만으로 판단할 수 없습니다.

공작물과 캐리어 치수, 적재량, 운전 온도, 목표 입자 크기 및 계수 요구를 제공하고 무부하와 최대 적재 중 어떤 조건으로 검사할지 명시합니다. 질소, 산소 농도 측정, 수냉 또는 기록 기능도 필요하면 같은 구성표에 기재하고 동일한 검사 조건으로 견적을 비교해야 합니다.