VO와 HTO 선택: 장비 선정 핵심 사항
‘VO와 HTO 선택: 장비 선정 핵심 사항’에서는 먼저 해당 재료의 합격 종점과 실제 장입 상태를 명확히 해야 합니다. 다음 내용은 요구 사항 협의와 시료 시험을 위한 자료입니다. 매개변수는 소재 자료와 해당 장비의 실제 구성을 바탕으로 확인해야 합니다.
VO와 HTO는 먼저 감압이 필수인지 판단하고, 진공에서의 열전달과 공기 순환 조건을 각각 확인합니다.
장비 구성안을 판단하는 기준
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트레이 유효 면적, 공작물 층수, 간격 및 배치당 열부하로 규모 확대 목표를 설명합니다; 공칭 용량의 비율로 생산 능력을 직접 환산할 수 없습니다.
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실험실 시험의 재료 종점과 시료 온도 범위를 유지하면서 대형 챔버의 승온, 배기, 가스 치환 및 냉각 시간을 다시 측정합니다.
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가장 불리한 장입 위치에서 실험실 시험과 파일럿 시험 결과를 비교한 뒤, 배치당 합격 수량과 전체 사이클 시간을 평가합니다.
시험 시료 평가와 인수 검사
시험 전에 시료의 초기 상태, 적재 배치, 레시피 버전 및 측정 방법을 기록합니다. 합격 판정 기준을 미리 합의한 다음, 서로 다른 적재 위치의 원시 곡선과 처리 후 소재 결과를 비교합니다. 장비 설정값을 제품 합격의 직접적인 증거로 사용해서는 안 됩니다.
카탈로그 구성 확인
현재 공개된 카탈로그의 후보 모델: ESC-VO1000-T6, ESC-VO125-T6, ESC-VO216-T6, ESC-VO27-T6. 이 모델들은 구성안 비교를 위한 후보입니다. 실제 적합성은 위 운전 조건에서의 검증 결과에 따라 판단해야 합니다.
CMS에서 검증 완료 및 공개 허용으로 표시된 매개변수(아래 기재된 모델에만 해당):
- ESC-VO1000-T6: 챔버 내부 치수: 100010001000 mm
- ESC-VO1000-T6: 작동 온도 범위: A:실온+25
200℃; B:실온+35300℃; C:실온+45400℃; D:실온+50500℃; E:실온+60~600℃
- ESC-VO1000-T6: 가열 시스템: 스테인리스 고속 히터
- ESC-VO1000-T6: 제어 시스템: 터치스크린 프로그램 제어형
- ESC-VO125-T6: 챔버 내부 치수: 500500500 mm
- ESC-VO125-T6: 작동 온도 범위: A:실온+25
200℃; B:실온+35300℃; C:실온+45400℃; D:실온+50500℃; E:실온+60~600℃
- ESC-VO125-T6: 가열 시스템: 스테인리스 고속 히터
- ESC-VO125-T6: 제어 시스템: 터치스크린 프로그램 제어형
- ESC-VO216-T6: 챔버 내부 치수: 600600600 mm
- ESC-VO216-T6: 작동 온도 범위: A:실온+25
200℃; B:실온+35300℃; C:실온+45400℃; D:실온+50500℃; E:실온+60~600℃
- ESC-VO216-T6: 가열 시스템: 스테인리스 고속 히터v
- ESC-VO216-T6: 제어 시스템: 터치스크린 프로그램 제어형
- ESC-VO27-T6: 챔버 내부 치수: 300300300 mm
- ESC-VO27-T6: 작동 온도 범위: A:실온+25
200℃; B:실온+35300℃; C:실온+45400℃; D:실온+50500℃; E:실온+60~600℃
- ESC-VO27-T6: 가열 시스템: 스테인리스 고속 히터
- ESC-VO27-T6: 제어 시스템: 터치스크린 프로그램 제어형
