‘플라즈마 세정기 용량 선정: 장비 선정 핵심 사항’에서는 먼저 해당 재료의 합격 종점과 실제 장입 상태를 명확히 해야 합니다. 다음 내용은 요구 사항 협의와 시료 시험을 위한 자료입니다. 매개변수는 소재 자료와 해당 장비의 실제 구성을 바탕으로 확인해야 합니다.
플라즈마 용량은 스테이지 배치, 가림 및 유효 처리 공간에 따라 결정하고, 시험편으로 위치 차이를 검증합니다.
트레이 유효 면적, 공작물 층수, 간격 및 배치당 열부하로 규모 확대 목표를 설명합니다; 공칭 용량의 비율로 생산 능력을 직접 환산할 수 없습니다.
실험실 시험의 재료 종점과 시료 온도 범위를 유지하면서 대형 챔버의 승온, 배기, 가스 치환 및 냉각 시간을 다시 측정합니다.
가장 불리한 장입 위치에서 실험실 시험과 파일럿 시험 결과를 비교한 뒤, 배치당 합격 수량과 전체 사이클 시간을 평가합니다.
시험 전에 시료의 초기 상태, 적재 배치, 레시피 버전 및 측정 방법을 기록합니다. 합격 판정 기준을 미리 합의한 다음, 서로 다른 적재 위치의 원시 곡선과 처리 후 소재 결과를 비교합니다. 장비 설정값을 제품 합격의 직접적인 증거로 사용해서는 안 됩니다.
현재 공개된 카탈로그의 후보 모델: ESC-2V, ESC-5V . 이 모델들은 구성안 비교를 위한 후보입니다. 실제 적합성은 위 운전 조건에서의 검증 결과에 따라 판단해야 합니다.
이번 비교에서는 공개가 허용되고 검증된 수치 매개변수를 확보하지 못했습니다. 최신 사양서와 실제 적재 상태에서의 시험 조건을 요청해야 합니다.
