진공 치환을 병용한 산소 저감: 장비 선정 핵심 사항
‘진공 치환을 병용한 산소 저감: 장비 선정 핵심 사항’에서는 먼저 해당 재료의 합격 종점과 실제 장입 상태를 명확히 해야 합니다. 다음 내용은 요구 사항 협의와 시료 시험을 위한 자료입니다. 매개변수는 소재 자료와 해당 장비의 실제 구성을 바탕으로 확인해야 합니다.
진공 치환에서는 각 단계의 압력, 가스 주입 종점 및 산소 측정값을 기록하고, 시료가 압력 전환을 견딜 수 있는지 확인합니다.
장비 구성안을 판단하는 기준
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허용 산소 농도, 해당 상태에 도달하는 시간 및 유지 단계를 각각 별도로 검수합니다; 질소 순도, 공급 압력 및 가스 소비량을 기록합니다.
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산소 분석기의 시료 채취 위치, 응답 지연 및 교정 방법을 명확히 합니다. 실제 적재 상태와 문을 연 뒤 회복하는 조건에서 시험해야 합니다. 공급 가스의 순도를 챔버 내 산소 농도로 대신해서는 안 됩니다.
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진공 배기, 질소 주입 및 가열의 실행 순서와 진공 모드에서 순환 팬을 작동할 수 있는지 각각 확인합니다. 압력 전환에 민감한 시료는 먼저 소량 시료로 검증합니다.
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냉각 및 꺼내기 단계에서도 산화와 재흡습 위험을 계속 확인합니다; 배기 경로, 가스 공급 중단 시 대응 및 현장 환기 조건도 확인합니다.
시험 시료 평가와 인수 검사
시험 전에 시료의 초기 상태, 적재 배치, 레시피 버전 및 측정 방법을 기록합니다. 합격 판정 기준을 미리 합의한 다음, 서로 다른 적재 위치의 원시 곡선과 처리 후 소재 결과를 비교합니다. 장비 설정값을 제품 합격의 직접적인 증거로 사용해서는 안 됩니다.
카탈로그 구성 확인
현재 공개된 카탈로그의 후보 모델: ESC-NVO1000-T6, ESC-NVO125-T6, ESC-NVO216-T6, ESC-NVO27-T6. 이 모델들은 구성안 비교를 위한 후보입니다. 실제 적합성은 위 운전 조건에서의 검증 결과에 따라 판단해야 합니다.
CMS에서 검증 완료 및 공개 허용으로 표시된 매개변수(아래 기재된 모델에만 해당):
- ESC-NVO1000-T6: 챔버 내부 치수: 100010001000 mm
- ESC-NVO1000-T6: 작동 온도 범위: A:실온+25
200℃; B:실온+35300℃; C:실온+45400℃; D:실온+50500℃; E:실온+60~600℃
- ESC-NVO1000-T6: 가열 시스템: 스테인리스 고속 히터
- ESC-NVO1000-T6: 제어 시스템: 터치스크린 프로그램 제어형
- ESC-NVO125-T6: 챔버 내부 치수: 500500500 mm
- ESC-NVO125-T6: 작동 온도 범위: A:실온+25
200℃; B:실온+35300℃; C:실온+45400℃; D:실온+50500℃; E:실온+60~600℃
- ESC-NVO125-T6: 가열 시스템: 스테인리스 고속 히터
- ESC-NVO125-T6: 제어 시스템: 터치스크린 프로그램 제어형
- ESC-NVO216-T6: 챔버 내부 치수: 500500500 mm
- ESC-NVO216-T6: 작동 온도 범위: A:실온+25
200℃; B:실온+35300℃; C:실온+45400℃; D:실온+50500℃; E:실온+60~600℃
- ESC-NVO216-T6: 가열 시스템: 스테인리스 고속 히터
- ESC-NVO216-T6: 제어 시스템: 터치스크린 프로그램 제어형
- ESC-NVO27-T6: 챔버 내부 치수: 300300300 mm
- ESC-NVO27-T6: 작동 온도 범위: A:실온+25
200℃; B:실온+35300℃; C:실온+45400℃; D:실온+50500℃; E:실온+60~600℃
- ESC-NVO27-T6: 안전장치: 결상 보호, 누전 보호, 과부하 보호, 과열 보호, 고장 경고등
- ESC-NVO27-T6: 선택 부속품: ①콜드 트랩; ②기록계; ③오일 미스트 필터; ④산소 농도 분석기; ⑤드라이 펌프; ⑥통신 인터페이스
