소량 배치 플라즈마 세정: 장비 선정 핵심 사항

소량 배치 플라즈마 세정: 장비 선정 핵심 사항

‘소량 배치 플라즈마 세정: 장비 선정 핵심 사항’에서는 먼저 해당 재료의 합격 종점과 실제 장입 상태를 명확히 해야 합니다. 다음 내용은 요구 사항 협의와 시료 시험을 위한 자료입니다. 매개변수는 소재 자료와 해당 장비의 실제 구성을 바탕으로 확인해야 합니다.

소량 배치 세정은 장입 위치별 시험편 결과를 비교하고, 스테이지, 가스 및 전원 조건을 기록합니다.

장비 구성안을 판단하는 기준

1. 먼저 오염물, 기재 및 다음 접착 또는 코팅 공정을 정합니다; 오염 제거와 표면 활성화는 각각 평가해야 하며, 처리 시간만으로 효과를 판단할 수 없습니다.

2. 전원 주파수, 가스 경로, 전극 형식 및 시료 가림 상태를 확인합니다. RF와 다른 주파수 전원 간 공정은 출력 숫자만 맞춰 직접 이전할 수 없습니다.

3. 접촉각 또는 표면 에너지로 조건을 선별한 뒤, 실제 접착제의 접착 강도, 박리 또는 파괴 모드로 검증합니다; 처리부터 접착까지의 간격을 기록합니다.

4. 과도한 처리로 인한 표면 손상, 변색 및 온도 상승을 관찰합니다; 서로 다른 장입 위치의 시료로 배치 내 일관성을 확인합니다.

시험 시료 평가와 인수 검사

시험 전에 시료의 초기 상태, 적재 배치, 레시피 버전 및 측정 방법을 기록합니다. 합격 판정 기준을 미리 합의한 다음, 서로 다른 적재 위치의 원시 곡선과 처리 후 소재 결과를 비교합니다. 장비 설정값을 제품 합격의 직접적인 증거로 사용해서는 안 됩니다.

카탈로그 구성 확인

현재 공개된 카탈로그의 후보 모델: ESC-2V, ESC-5V . 이 모델들은 구성안 비교를 위한 후보입니다. 실제 적합성은 위 운전 조건에서의 검증 결과에 따라 판단해야 합니다.

이번 비교에서는 공개가 허용되고 검증된 수치 매개변수를 확보하지 못했습니다. 최신 사양서와 실제 적재 상태에서의 시험 조건을 요청해야 합니다.