누설 위험 평가: 장비 선정 핵심 사항
‘누설 위험 평가: 장비 선정 핵심 사항’에서는 먼저 해당 재료의 합격 종점과 실제 장입 상태를 명확히 해야 합니다. 다음 내용은 요구 사항 협의와 시료 시험을 위한 자료입니다. 매개변수는 소재 자료와 해당 장비의 실제 구성을 바탕으로 확인해야 합니다.
누설 위험은 산소 곡선과 건조 종점을 함께 사용하여 공정 영향을 판단하고, 정비 전후 데이터를 보관합니다.
장비 구성안을 판단하는 기준
-
먼저 빈 챔버와 장입 후의 배기 곡선을 비교하여 누설, 시료 가스 방출 및 휘발물 부하를 구분합니다; 한 번의 압력 상승만으로 밀봉 실패를 바로 판정할 수 없습니다.
-
동일한 온도와 차단 조건에서 압력 유지 변화를 기록하고, 도어 밀봉, 밸브, 연결부, 측정 배관 및 펌프를 항목별로 점검합니다.
-
정비 또는 밀봉재 교체 후 기준 상태와 실제 장입 상태의 검증을 반복합니다; 정비 전후 곡선을 보관하여 건조 종점과 분위기 안정성이 회복되었는지 확인합니다.
시험 시료 평가와 인수 검사
시험 전에 시료의 초기 상태, 적재 배치, 레시피 버전 및 측정 방법을 기록합니다. 합격 판정 기준을 미리 합의한 다음, 서로 다른 적재 위치의 원시 곡선과 처리 후 소재 결과를 비교합니다. 장비 설정값을 제품 합격의 직접적인 증거로 사용해서는 안 됩니다.
카탈로그 구성 확인
현재 공개된 카탈로그의 후보 모델: ESC-VO1000-T6, ESC-VO125-T6, ESC-VO216-T6, ESC-VO27-T6. 이 모델들은 구성안 비교를 위한 후보입니다. 실제 적합성은 위 운전 조건에서의 검증 결과에 따라 판단해야 합니다.
CMS에서 검증 완료 및 공개 허용으로 표시된 매개변수(아래 기재된 모델에만 해당):
- ESC-VO1000-T6: 챔버 내부 치수: 100010001000 mm
- ESC-VO1000-T6: 작동 온도 범위: A:실온+25
200℃; B:실온+35300℃; C:실온+45400℃; D:실온+50500℃; E:실온+60~600℃
- ESC-VO1000-T6: 가열 시스템: 스테인리스 고속 히터
- ESC-VO1000-T6: 제어 시스템: 터치스크린 프로그램 제어형
- ESC-VO125-T6: 챔버 내부 치수: 500500500 mm
- ESC-VO125-T6: 작동 온도 범위: A:실온+25
200℃; B:실온+35300℃; C:실온+45400℃; D:실온+50500℃; E:실온+60~600℃
- ESC-VO125-T6: 가열 시스템: 스테인리스 고속 히터
- ESC-VO125-T6: 제어 시스템: 터치스크린 프로그램 제어형
- ESC-VO216-T6: 챔버 내부 치수: 600600600 mm
- ESC-VO216-T6: 작동 온도 범위: A:실온+25
200℃; B:실온+35300℃; C:실온+45400℃; D:실온+50500℃; E:실온+60~600℃
- ESC-VO216-T6: 가열 시스템: 스테인리스 고속 히터v
- ESC-VO216-T6: 제어 시스템: 터치스크린 프로그램 제어형
- ESC-VO27-T6: 챔버 내부 치수: 300300300 mm
- ESC-VO27-T6: 작동 온도 범위: A:실온+25
200℃; B:실온+35300℃; C:실온+45400℃; D:실온+50500℃; E:실온+60~600℃
- ESC-VO27-T6: 가열 시스템: 스테인리스 고속 히터
- ESC-VO27-T6: 제어 시스템: 터치스크린 프로그램 제어형