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청정 포장재 건조: 장비 선정 핵심 사항: 청정 포장은 내부 입자, 밀봉부 및 열수축을 확인하고, 실제 포장재로 검증합니다. 먼저 입자 오염의 측정 대상과 위치가 챔버 공기, 공작물 표면 또는 포장 내부 중 무엇인지 정하고, 무부하 및 작동 상태를 합의합니다.

청정 포장재 건조: 공정 검증 및 위험 관리: 청정 포장은 내부 입자, 밀봉부 및 열수축을 확인하고, 실제 포장재로 검증합니다. 먼저 입자 오염의 측정 대상과 위치가 챔버 공기, 공작물 표면 또는 포장 내부 중 무엇인지 정하고, 무부하 및 작동 상태를 합의합니다.

클린룸 장비 도입: 장비 선정 핵심 사항: 클린룸 도입 시 장비 방열, 배기 및 적재·하역 동선을 확인하고, 현장 운전 상태를 다시 측정합니다. 필터 내열성, 설치 밀봉, 순환 공기 통로 및 유지보수 방식을 확인합니다; 클린룸에 설치되어 있다는 사실만으로 장비 내부의 청정 성능이 입증되지는 않습니다.

클린룸 장비 도입: 공정 검증 및 위험 관리: 클린룸 도입 시 장비 방열, 배기 및 적재·하역 동선을 확인하고, 현장 운전 상태를 다시 측정합니다. 필터 내열성, 설치 밀봉, 순환 공기 통로 및 유지보수 방식을 확인합니다; 클린룸에 설치되어 있다는 사실만으로 장비 내부의 청정 성능이 입증되지는 않습니다.

챔버 기밀 유지: 장비 선정 핵심 사항: 챔버 압력 유지 시험은 온도와 차단 밸브 상태를 일정하게 유지하고, 압력 변화와 도어 밀봉 상태를 기록합니다. 동일한 온도와 차단 조건에서 압력 유지 변화를 기록하고, 도어 밀봉, 밸브, 연결부, 측정 배관 및 펌프를 항목별로 점검합니다.

챔버 기밀 유지: 공정 검증 및 위험 관리: 챔버 압력 유지 시험은 온도와 차단 밸브 상태를 일정하게 유지하고, 압력 변화와 도어 밀봉 상태를 기록합니다. 동일한 온도와 차단 조건에서 압력 유지 변화를 기록하고, 도어 밀봉, 밸브, 연결부, 측정 배관 및 펌프를 항목별로 점검합니다.

배기 속도 이상 점검: 장비 선정 핵심 사항: 배기 속도 이상은 먼저 펌프 성능, 배관 저항 및 시료 방출 가스를 구분하고, 각각 기준값과 비교합니다. 정비 또는 밀봉재 교체 후 기준 상태와 실제 장입 상태의 검증을 반복합니다; 정비 전후 곡선을 보관하여 건조 종점과 분위기 안정성이 회복되었는지 확인합니다.

배기 속도 이상 점검: 공정 검증 및 위험 관리: 배기 속도 이상은 먼저 펌프 성능, 배관 저항 및 시료 방출 가스를 구분하고, 각각 기준값과 비교합니다. 정비 또는 밀봉재 교체 후 기준 상태와 실제 장입 상태의 검증을 반복합니다; 정비 전후 곡선을 보관하여 건조 종점과 분위기 안정성이 회복되었는지 확인합니다.