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진공 유지 시험: 장비 선정 핵심 사항: 진공 유지 시험은 빈 챔버와 실제 장입 상태를 비교하여, 가스 방출을 시스템 누설로 오판하지 않도록 합니다. 먼저 빈 챔버와 장입 후의 배기 곡선을 비교하여 누설, 시료 가스 방출 및 휘발물 부하를 구분합니다; 한 번의 압력 상승만으로 밀봉 실패를 바로 판정할 수 없습니다.

진공 유지 시험: 공정 검증 및 위험 관리: 진공 유지 시험은 빈 챔버와 실제 장입 상태를 비교하여, 가스 방출을 시스템 누설로 오판하지 않도록 합니다. 먼저 빈 챔버와 장입 후의 배기 곡선을 비교하여 누설, 시료 가스 방출 및 휘발물 부하를 구분합니다; 한 번의 압력 상승만으로 밀봉 실패를 바로 판정할 수 없습니다.

누설 위험 평가: 장비 선정 핵심 사항: 누설 위험은 산소 곡선과 건조 종점을 함께 사용하여 공정 영향을 판단하고, 정비 전후 데이터를 보관합니다. 동일한 온도와 차단 조건에서 압력 유지 변화를 기록하고, 도어 밀봉, 밸브, 연결부, 측정 배관 및 펌프를 항목별로 점검합니다.

누설 위험 평가: 공정 검증 및 위험 관리: 누설 위험은 산소 곡선과 건조 종점을 함께 사용하여 공정 영향을 판단하고, 정비 전후 데이터를 보관합니다. 동일한 온도와 차단 조건에서 압력 유지 변화를 기록하고, 도어 밀봉, 밸브, 연결부, 측정 배관 및 펌프를 항목별로 점검합니다.

밀봉 재료의 적합성: 장비 선정 핵심 사항: 밀봉 재료는 온도, 용매 및 가스 적합성을 확인하고, 교체 후 실제 공정 조건에서 검증합니다. 정비 또는 밀봉재 교체 후 기준 상태와 실제 장입 상태의 검증을 반복합니다; 정비 전후 곡선을 보관하여 건조 종점과 분위기 안정성이 회복되었는지 확인합니다.

밀봉 재료의 적합성: 공정 검증 및 위험 관리: 밀봉 재료는 온도, 용매 및 가스 적합성을 확인하고, 교체 후 실제 공정 조건에서 검증합니다. 정비 또는 밀봉재 교체 후 기준 상태와 실제 장입 상태의 검증을 반복합니다; 정비 전후 곡선을 보관하여 건조 종점과 분위기 안정성이 회복되었는지 확인합니다.

출하 품질 검사 기록: 장비 선정 핵심 사항: 출하 품질 검사는 주문 구성, 측정 조건 및 판정 기준을 항목별로 대응시키고, 원본 기록을 확인합니다. 현장의 전원, 가스 공급, 배기, 운반 통로 및 유지보수 공간을 확인하고, 입고 검사와 설치·시운전 기록을 보관합니다.

출하 품질 검사 기록: 공정 검증 및 위험 관리: 출하 품질 검사는 주문 구성, 측정 조건 및 판정 기준을 항목별로 대응시키고, 원본 기록을 확인합니다. 현장의 전원, 가스 공급, 배기, 운반 통로 및 유지보수 공간을 확인하고, 입고 검사와 설치·시운전 기록을 보관합니다.