ESC-LCO100-T5 청정 비산화 오븐
안승의 ESC-LCO100-T5 청정 비산화 오븐 모델은 MEMS 센서 패키징, 반도체 정밀 어닐링 및 광전자 부품에 맞춰 설계된 100L 정밀 열처리 장비입니다. T5 고온 운전을 지원하며 최고 온도는 500℃입니다. PID 마이크로컴퓨터 정밀 제어 알고리즘을 적용합니다. 온도 제어 정밀도는 ±0.1℃입니다. 온도장 균일도는 ±2.0%입니다. 극한 온도 환경에서 고부가가치 시편의 열적 일관성을 확보합니다.
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| 내부 치수 | 500*500*400 mm |
| 작동 온도 범위 | 25~500 ℃ |
| 작업 챔버 | 단일 챔버/이중 챔버/사중 챔버 |
| 질소 시스템 | 질소 여과，플로트 유량계 |
| 가열 방식 | 열풍 순환/열복사 |
| 가열 시스템 | 청정 고속 히터 |
| 여과 시스템 | 내열 고효율 필터 사용 |
| 청정 등급 | Class100/Class1000/Class10000 |
| 제어 시스템 | 터치스크린 프로그램 제어형 |
| 안전 장치 | 결상 보호，누전 보호，과부하 보호，과열 보호，고장 경고등 |
| 선택 사양 | ①기록계；②산소 농도 분석기；③질소 시스템；④UPS;⑤바코드 스캐너；⑥수냉식 냉각 시스템；⑦카트；⑧통신 인터페이스 |
| 전원 | AC220V단상 삼선식50Hz/AC380V삼상 오선식50Hz |
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