2026-05-03
Ключевые вопросы выбора оборудования: Подбор вместимости плазменной установки очистки
Ключевые вопросы выбора оборудования: Подбор вместимости плазменной установки очистки. Определяйте вместимость плазменной установки по компоновке держателя, затенению и полезному пространству обработки; проверяйте различия позиций контрольными образцами. Сохраняйте конечный критерий материала и температурное окно образца из лабораторных испытаний; заново измеряйте время нагрева, откачки, замещения газа и охлаждения большой камеры.