ESC-CLO100-T5
ESC-CLO100-T5 クリーンオーブン
安勝 ESC-CLO100-T5 クリーンオーブン は、半導体ウエハー、MEMS センサー、精密医療機器の熱処理向けに設計された100L の精密級装置です。 T5 高温運転に対応し、最高温度は 500℃ です。 H14 等級の耐熱高性能フィルター（HEPA）と全閉路循環ダクトにより、チャンバー内を継続して Class 100 の清浄度に保ち、微粒子汚染を発生源で防止します。
「ろ過システムの保守：工程検証とリスク管理」では、まず具体的な材料の合格終点と実際の装入状態を明確にします。 以下の内容は、要件の検討と試料による検証に使用するものです。パラメータは、材料資料と具体的な装置構成に基づいて確認してください。
フィルター保守ではシールと交換後の粒子状態の回復を確認し、耐熱性と保守条件を記録します。
まず粒子汚染の測定対象と位置がチャンバー空気、ワーク表面、包装内部のどれかを定義し、無負荷時と運転時の条件を合意します。
フィルター耐熱性、取付部のシール、循環風路、保守方法を確認します； クリーンルームへの設置自体は、装置内部の清浄性能を証明しません。
実際のトレーと包装で粒子付着と温度分布を試験し、開扉による装入・取り出しやフィルター交換後の回復状態を記録します。
清浄乾燥と滅菌は異なる工程目標です； 滅菌の表明には対応する工程検証が必要であり、オーブン温度や清浄構成から直接導くことはできません。
検証報告書には、センサーと校正状態、生データ曲線、材料の結果、異常現象、工程を受け入れるか修正するかの判断根拠を記載してください。 結果が一致しない場合は、まず試料状態、装填、装置の挙動の変化を切り分け、その後にパラメータを調整してください。
現在公開されているカタログの候補型式：ESC-CLO100-T5, ESC-CLO211-T5, ESC-CLO423-T5, ESC-CLO4500-T5。 これらの型式は構成案を比較するための候補です。適用できるかどうかは、上記の運転条件での検証によって判断してください。
CMSで検証済みかつ公開可能とされているパラメータ（記載された型式にのみ適用）：