製品

安勝 ESC-CLO4500-T5 クリーンオーブン は、車載 HUD レンズ、大型光電子部品、半導体材料の大量生産向けに設計された4500L のフラッグシップ超大型精密熱処理装置です。 T5 高温運転に対応し、最高温度は 500℃ です。 広い有効容積は 約 10m³ です。 PID 精密制御アルゴリズムを採用しています。 温度制御精度は ±0.1℃ です。 温度分布の均一性は ±2.0% です。

安勝 ESC-CLO640-T5 クリーンオーブン は、航空用複合材料の熱圧硬化、ディスプレイパネルの大型部品、精密な生化学実験向けに設計された640L の超大型精密熱処理装置です。 T5 高温運転に対応し、最高温度は 500℃ です。 PID 精密制御アルゴリズムを採用しています。 温度制御精度は ±0.1℃ です。 温度分布の均一性は ±2.0% です。 中核となる H14 等級の耐熱高性能フィルター（HEPA）により、チャンバー内を継続して Class 100 の高い清浄度に保ち、精密部品の微粒子汚染を発生源で防止します。

安勝 ESC-CLO211-T5 クリーンオーブン は、5G 光通信モジュール、半導体の精密硬化、光電子部品向けに設計された211L の産業用精密熱処理装置です。 T5 高温運転に対応し、最高温度は 500℃ です。 H14 等級の耐熱高性能フィルター（HEPA）と全閉路循環ダクトにより、チャンバー内を継続して Class 100 の清浄度に保ち、微粒子汚染を発生源で防止します。

安勝 ESC-CLO100-T5 クリーンオーブン は、半導体ウエハー、MEMS センサー、精密医療機器の熱処理向けに設計された100L の精密級装置です。 T5 高温運転に対応し、最高温度は 500℃ です。 H14 等級の耐熱高性能フィルター（HEPA）と全閉路循環ダクトにより、チャンバー内を継続して Class 100 の清浄度に保ち、微粒子汚染を発生源で防止します。