酸素濃度警報の設定方針：装置選定の要点
「酸素濃度警報の設定方針：装置選定の要点」では、まず具体的な材料の合格終点と実際の装入状態を明確にします。 以下の内容は、要件の検討と試料による検証に使用するものです。パラメータは、材料資料と具体的な装置構成に基づいて確認してください。
酸素警報は遅延、作動記録、装置の応答を確認し、センサー故障を検知できるか検証します。
装置構成を判断する基準
-
許容酸素濃度、その状態に達する時間、保持段階を分けて受け入れます； 窒素の純度、供給圧力、ガス消費量を記録してください。
-
酸素分析計の採取位置、応答遅延、校正方法を明確にします。 実際の装填状態と扉を開けた後の回復条件で試験してください。供給ガスの純度を、槽内の酸素濃度の代わりに用いてはいけません。
-
真空排気、窒素導入、加熱の実行順序と、真空モードで循環ファンを運転できるかをそれぞれ確認します。 圧力の切り替えに敏感な試料は、先に少量の試料で検証してください。
-
冷却と取り出しの段階でも、酸化と再吸湿のリスクを引き続き確認します； 排気経路、ガス供給停止時の対応、現場の換気条件も確認してください。
試料試験と受入検査
試験前に、試料の初期状態、装填配置、レシピのバージョン、測定方法を記録してください。 合格判定の終点を事前に合意し、そのうえで装填位置ごとの生データ曲線と処理後の材料結果を比較してください。装置の設定値を、そのまま製品の合格を示す証拠として扱ってはいけません。
カタログ構成の確認
現在公開されているカタログの候補型式：ESC-NVO1000-T6, ESC-NVO125-T6, ESC-NVO216-T6, ESC-NVO27-T6。 これらの型式は構成案を比較するための候補です。適用できるかどうかは、上記の運転条件での検証によって判断してください。
CMSで検証済みかつ公開可能とされているパラメータ（記載された型式にのみ適用）：
- ESC-NVO1000-T6: 内槽寸法: 100010001000 mm
- ESC-NVO1000-T6: 使用温度範囲: A:室温+25
200℃； B:室温+35300℃； C:室温+45400℃； D:室温+50500℃； E:室温+60~600℃
- ESC-NVO1000-T6: 加熱システム: ステンレス製高速ヒーター
- ESC-NVO1000-T6: 制御システム: タッチパネル式プログラム制御
- ESC-NVO125-T6: 内槽寸法: 500500500 mm
- ESC-NVO125-T6: 使用温度範囲: A:室温+25
200℃； B:室温+35300℃； C:室温+45400℃； D:室温+50500℃； E:室温+60~600℃
- ESC-NVO125-T6: 加熱システム: ステンレス製高速ヒーター
- ESC-NVO125-T6: 制御システム: タッチパネル式プログラム制御
- ESC-NVO216-T6: 内槽寸法: 500500500 mm
- ESC-NVO216-T6: 使用温度範囲: A:室温+25
200℃； B:室温+35300℃； C:室温+45400℃； D:室温+50500℃； E:室温+60~600℃
- ESC-NVO216-T6: 加熱システム: ステンレス製高速ヒーター
- ESC-NVO216-T6: 制御システム: タッチパネル式プログラム制御
- ESC-NVO27-T6: 内槽寸法: 300300300 mm
- ESC-NVO27-T6: 使用温度範囲: A:室温+25
200℃； B:室温+35300℃； C:室温+45400℃； D:室温+50500℃； E:室温+60~600℃
- ESC-NVO27-T6: 安全装置: 欠相保護、漏電保護、過負荷保護、過昇温保護、故障警告灯
- ESC-NVO27-T6: オプション付属品: ①コールドトラップ； ②記録計； ③オイルミストフィルター； ④酸素濃度分析計； ⑤ドライポンプ； ⑥通信インターフェース
