ESC-HTO72-T6
소재의 합격 판정 종점을 기준으로 장비 구성을 비교합니다. 각 기능과 성능은 선택한 모델에서 확인해야 합니다.
재료 종점에 입자 침착 또는 표면 청정도가 포함되면 여과 순환 구성을 검토합니다; 두 종류의 장비를 비교할 때는 이름만 비교하지 말고 동일한 장입 조건과 측정 방법을 사용합니다.
먼저 입자 오염의 측정 대상과 위치가 챔버 공기, 공작물 표면 또는 포장 내부 중 무엇인지 정하고, 무부하 및 작동 상태를 합의합니다.
필터 내열성, 설치 밀봉, 순환 공기 통로 및 유지보수 방식을 확인합니다; 클린룸에 설치되어 있다는 사실만으로 장비 내부의 청정 성능이 입증되지는 않습니다.
실제 트레이와 포장으로 입자 침착과 온도 분포를 시험하고, 도어 개방을 통한 적재·하역과 필터 교체 후의 회복 상태를 기록합니다.
청정 건조와 멸균은 서로 다른 공정 목표입니다; 멸균 주장은 해당 공정 검증이 필요하며, 오븐 온도나 청정 구성만으로 직접 도출할 수 없습니다.
시험 전에 시료의 초기 상태, 적재 배치, 레시피 버전 및 측정 방법을 기록합니다. 합격 판정 기준을 미리 합의한 다음, 서로 다른 적재 위치의 원시 곡선과 처리 후 소재 결과를 비교합니다. 장비 설정값을 제품 합격의 직접적인 증거로 사용해서는 안 됩니다.
현재 공개된 카탈로그의 후보 모델: ESC-CLO100-T5, ESC-CLO211-T5, ESC-CLO423-T5, ESC-CLO4500-T5. 이 모델들은 구성안 비교를 위한 후보입니다. 실제 적합성은 위 운전 조건에서의 검증 결과에 따라 판단해야 합니다.
CMS에서 검증 완료 및 공개 허용으로 표시된 매개변수(아래 기재된 모델에만 해당):