진공 건조의 누설 위험: 밀봉, 배기 속도 및 공정 안정성
소재의 합격 판정 종점을 기준으로 장비 구성을 비교합니다. 각 기능과 성능은 선택한 모델에서 확인해야 합니다.
점검 시 먼저 같은 온도에서 빈 챔버의 배기 및 차단 유지 곡선을 보관하고, 트레이와 시료를 단계적으로 추가하여 시스템 누설인지 장입물 가스 방출 증가인지 판단합니다.
장비 구성안을 판단하는 기준
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먼저 빈 챔버와 장입 후의 배기 곡선을 비교하여 누설, 시료 가스 방출 및 휘발물 부하를 구분합니다; 한 번의 압력 상승만으로 밀봉 실패를 바로 판정할 수 없습니다.
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동일한 온도와 차단 조건에서 압력 유지 변화를 기록하고, 도어 밀봉, 밸브, 연결부, 측정 배관 및 펌프를 항목별로 점검합니다.
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정비 또는 밀봉재 교체 후 기준 상태와 실제 장입 상태의 검증을 반복합니다; 정비 전후 곡선을 보관하여 건조 종점과 분위기 안정성이 회복되었는지 확인합니다.
시험 시료 평가와 인수 검사
시험 전에 시료의 초기 상태, 적재 배치, 레시피 버전 및 측정 방법을 기록합니다. 합격 판정 기준을 미리 합의한 다음, 서로 다른 적재 위치의 원시 곡선과 처리 후 소재 결과를 비교합니다. 장비 설정값을 제품 합격의 직접적인 증거로 사용해서는 안 됩니다.
카탈로그 구성 확인
현재 공개된 카탈로그의 후보 모델: ESC-VO1000-T6, ESC-VO125-T6, ESC-VO216-T6, ESC-VO27-T6. 이 모델들은 구성안 비교를 위한 후보입니다. 실제 적합성은 위 운전 조건에서의 검증 결과에 따라 판단해야 합니다.
CMS에서 검증 완료 및 공개 허용으로 표시된 매개변수(아래 기재된 모델에만 해당):
- ESC-VO1000-T6: 챔버 내부 치수: 100010001000 mm
- ESC-VO1000-T6: 작동 온도 범위: A:실온+25
200℃; B:실온+35300℃; C:실온+45400℃; D:실온+50500℃; E:실온+60~600℃
- ESC-VO1000-T6: 가열 시스템: 스테인리스 고속 히터
- ESC-VO1000-T6: 제어 시스템: 터치스크린 프로그램 제어형
- ESC-VO125-T6: 챔버 내부 치수: 500500500 mm
- ESC-VO125-T6: 작동 온도 범위: A:실온+25
200℃; B:실온+35300℃; C:실온+45400℃; D:실온+50500℃; E:실온+60~600℃
- ESC-VO125-T6: 가열 시스템: 스테인리스 고속 히터
- ESC-VO125-T6: 제어 시스템: 터치스크린 프로그램 제어형
- ESC-VO216-T6: 챔버 내부 치수: 600600600 mm
- ESC-VO216-T6: 작동 온도 범위: A:실온+25
200℃; B:실온+35300℃; C:실온+45400℃; D:실온+50500℃; E:실온+60~600℃
- ESC-VO216-T6: 가열 시스템: 스테인리스 고속 히터v
- ESC-VO216-T6: 제어 시스템: 터치스크린 프로그램 제어형
- ESC-VO27-T6: 챔버 내부 치수: 300300300 mm
- ESC-VO27-T6: 작동 온도 범위: A:실온+25
200℃; B:실온+35300℃; C:실온+45400℃; D:실온+50500℃; E:실온+60~600℃
- ESC-VO27-T6: 가열 시스템: 스테인리스 고속 히터
- ESC-VO27-T6: 제어 시스템: 터치스크린 프로그램 제어형