ESC-CLO100-T5
ESC-CLO100-T5 청정 오븐
안승의 ESC-CLO100-T5 청정 오븐 모델은 반도체 웨이퍼, MEMS 센서 및 정밀 의료기기의 열처리에 맞춰 설계된 100L 정밀급 장비입니다. T5 고온 운전을 지원하며 최고 온도는 500℃입니다. H14 등급 내열 고효율 필터（HEPA）와 완전 폐회로 순환 덕트를 통해 챔버를 지속적으로 Class 100 청정도로 유지하고 미세먼지 오염을 근원에서 차단합니다.
‘저입자 열풍 순환: 장비 선정 핵심 사항’에서는 먼저 해당 재료의 합격 종점과 실제 장입 상태를 명확히 해야 합니다. 다음 내용은 요구 사항 협의와 시료 시험을 위한 자료입니다. 매개변수는 소재 자료와 해당 장비의 실제 구성을 바탕으로 확인해야 합니다.
저입자 순환은 온도와 입자 결과를 함께 점검하고, 실제 트레이가 공기 흐름을 바꾸는지 관찰합니다.
먼저 입자 오염의 측정 대상과 위치가 챔버 공기, 공작물 표면 또는 포장 내부 중 무엇인지 정하고, 무부하 및 작동 상태를 합의합니다.
필터 내열성, 설치 밀봉, 순환 공기 통로 및 유지보수 방식을 확인합니다; 클린룸에 설치되어 있다는 사실만으로 장비 내부의 청정 성능이 입증되지는 않습니다.
실제 트레이와 포장으로 입자 침착과 온도 분포를 시험하고, 도어 개방을 통한 적재·하역과 필터 교체 후의 회복 상태를 기록합니다.
청정 건조와 멸균은 서로 다른 공정 목표입니다; 멸균 주장은 해당 공정 검증이 필요하며, 오븐 온도나 청정 구성만으로 직접 도출할 수 없습니다.
시험 전에 시료의 초기 상태, 적재 배치, 레시피 버전 및 측정 방법을 기록합니다. 합격 판정 기준을 미리 합의한 다음, 서로 다른 적재 위치의 원시 곡선과 처리 후 소재 결과를 비교합니다. 장비 설정값을 제품 합격의 직접적인 증거로 사용해서는 안 됩니다.
현재 공개된 카탈로그의 후보 모델: ESC-CLO100-T5, ESC-CLO211-T5, ESC-CLO423-T5, ESC-CLO4500-T5. 이 모델들은 구성안 비교를 위한 후보입니다. 실제 적합성은 위 운전 조건에서의 검증 결과에 따라 판단해야 합니다.
CMS에서 검증 완료 및 공개 허용으로 표시된 매개변수(아래 기재된 모델에만 해당):