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이상 경보 기록: 장비 선정 핵심 사항: 경보 기록은 발생, 확인 및 복구 시간을 구분하고, 같은 배치의 온도 또는 압력 곡선과 연결해야 합니다. 인수 시 원본 곡선, 이상 사건 및 결과 판정을 함께 보관하고, 백업 복원 후 배치 연결이 온전히 유지되는지 시험합니다.

이상 경보 기록: 공정 검증 및 위험 관리: 경보 기록은 발생, 확인 및 복구 시간을 구분하고, 같은 배치의 온도 또는 압력 곡선과 연결해야 합니다. 인수 시 원본 곡선, 이상 사건 및 결과 판정을 함께 보관하고, 백업 복원 후 배치 연결이 온전히 유지되는지 시험합니다.

고객 공장 심사 자료 준비: 장비 선정 핵심 사항: 공장 심사 자료는 구체적인 심사 요구 사항에 따라 장비 적격성 확인, 교정 및 배치 기록을 정리하며, 포괄적인 규정 준수 주장에 그치지 않습니다. 각 배치에 장비, 레시피 버전, 시료 또는 작업 지시서, 작업자 및 시간을 연결합니다; 온도 곡선 파일에서 해당 장입 상태를 추적할 수 있어야 합니다.

고객 공장 심사 자료 준비: 공정 검증 및 위험 관리: 공장 심사 자료는 구체적인 심사 요구 사항에 따라 장비 적격성 확인, 교정 및 배치 기록을 정리하며, 포괄적인 규정 준수 주장에 그치지 않습니다. 각 배치에 장비, 레시피 버전, 시료 또는 작업 지시서, 작업자 및 시간을 연결합니다; 온도 곡선 파일에서 해당 장입 상태를 추적할 수 있어야 합니다.

배치 추적 기록 보관: 장비 선정 핵심 사항: 배치 기록 보관은 완제품과 장비 기록 간 양방향 검색으로 검증하고, 백업 복원 후에도 해당 기록을 찾을 수 있는지 시험합니다. 기록이 설정값인지 실측값인지 확인하고, 샘플링 간격, 시계 출처, 단위 및 센서 위치를 명시하여 내보내기 후에도 데이터의 의미가 유지되도록 합니다.

배치 추적 기록 보관: 공정 검증 및 위험 관리: 배치 기록 보관은 완제품과 장비 기록 간 양방향 검색으로 검증하고, 백업 복원 후에도 해당 기록을 찾을 수 있는지 시험합니다. 기록이 설정값인지 실측값인지 확인하고, 샘플링 간격, 시계 출처, 단위 및 센서 위치를 명시하여 내보내기 후에도 데이터의 의미가 유지되도록 합니다.

IGBT 모듈의 저산소 경화: 장비 선정 핵심 사항: IGBT 모듈은 접착층과 내부 열부하가 큰 위치에 측정점을 배치하고, 패키징 후 결과로 경화를 확인합니다. 산소 분석기의 시료 채취 위치, 응답 지연 및 교정 방법을 명확히 합니다. 실제 적재 상태와 문을 연 뒤 회복하는 조건에서 시험해야 합니다. 공급 가스의 순도를 챔버 내 산소 농도로 대신해서는 안 됩니다.

IGBT 모듈의 저산소 경화: 공정 검증 및 위험 관리: IGBT 모듈은 접착층과 내부 열부하가 큰 위치에 측정점을 배치하고, 패키징 후 결과로 경화를 확인합니다. 산소 분석기의 시료 채취 위치, 응답 지연 및 교정 방법을 명확히 합니다. 실제 적재 상태와 문을 연 뒤 회복하는 조건에서 시험해야 합니다. 공급 가스의 순도를 챔버 내 산소 농도로 대신해서는 안 됩니다.