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진공 치환을 병용한 산소 저감: 장비 선정 핵심 사항: 진공 치환에서는 각 단계의 압력, 가스 주입 종점 및 산소 측정값을 기록하고, 시료가 압력 전환을 견딜 수 있는지 확인합니다. 허용 산소 농도, 해당 상태에 도달하는 시간 및 유지 단계를 각각 별도로 검수합니다; 질소 순도, 공급 압력 및 가스 소비량을 기록합니다.

진공 치환을 병용한 산소 저감: 공정 검증 및 위험 관리: 진공 치환에서는 각 단계의 압력, 가스 주입 종점 및 산소 측정값을 기록하고, 시료가 압력 전환을 견딜 수 있는지 확인합니다. 허용 산소 농도, 해당 상태에 도달하는 시간 및 유지 단계를 각각 별도로 검수합니다; 질소 순도, 공급 압력 및 가스 소비량을 기록합니다.

저산소 공정의 배치 간 일관성: 장비 선정 핵심 사항: 저산소 공정의 배치 일관성은 장입 및 도어 개방 작업의 변화에 따라 비교하고, 산소 곡선과 처리 결과를 보관합니다. 산소 분석기의 시료 채취 위치, 응답 지연 및 교정 방법을 명확히 합니다. 실제 적재 상태와 문을 연 뒤 회복하는 조건에서 시험해야 합니다. 공급 가스의 순도를 챔버 내 산소 농도로 대신해서는 안 됩니다.

저산소 공정의 배치 간 일관성: 공정 검증 및 위험 관리: 저산소 공정의 배치 일관성은 장입 및 도어 개방 작업의 변화에 따라 비교하고, 산소 곡선과 처리 결과를 보관합니다. 산소 분석기의 시료 채취 위치, 응답 지연 및 교정 방법을 명확히 합니다. 실제 적재 상태와 문을 연 뒤 회복하는 조건에서 시험해야 합니다. 공급 가스의 순도를 챔버 내 산소 농도로 대신해서는 안 됩니다.

온도 곡선 내보내기: 장비 선정 핵심 사항: 곡선 내보내기에서는 파일의 시간, 단위 및 배치 식별자를 확인하고, 화면의 원본 기록과 대조합니다. 기록이 설정값인지 실측값인지 확인하고, 샘플링 간격, 시계 출처, 단위 및 센서 위치를 명시하여 내보내기 후에도 데이터의 의미가 유지되도록 합니다.

온도 곡선 내보내기: 공정 검증 및 위험 관리: 곡선 내보내기에서는 파일의 시간, 단위 및 배치 식별자를 확인하고, 화면의 원본 기록과 대조합니다. 기록이 설정값인지 실측값인지 확인하고, 샘플링 간격, 시계 출처, 단위 및 센서 위치를 명시하여 내보내기 후에도 데이터의 의미가 유지되도록 합니다.

사용자 권한 등급 관리: 장비 선정 핵심 사항: 권한 등급 관리에서는 운전, 레시피 변경 및 계정 관리를 각각 시연하고, 권한을 벗어나는 조작이 제한되는지 확인합니다. 레시피 수정, 권한 변경, 경보 확인, 정전 후 재기동 및 내보내기를 현장에서 시연합니다. 감사 추적 또는 변조 방지 기능의 유무는 항목별로 검증해야 합니다.

사용자 권한 등급 관리: 공정 검증 및 위험 관리: 권한 등급 관리에서는 운전, 레시피 변경 및 계정 관리를 각각 시연하고, 권한을 벗어나는 조작이 제한되는지 확인합니다. 레시피 수정, 권한 변경, 경보 확인, 정전 후 재기동 및 내보내기를 현장에서 시연합니다. 감사 추적 또는 변조 방지 기능의 유무는 항목별로 검증해야 합니다.