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소량 배치 플라즈마 세정 적용 시나리오
소량 배치 플라즈마 세정 적용 시나리오: 소량 배치 세정은 장입 위치별 시험편 결과를 비교하고, 스테이지, 가스 및 전원 조건을 기록합니다. 먼저 오염물, 기재 및 다음 접착 또는 코팅 공정을 정합니다; 오염 제거와 표면 활성화는 각각 평가해야 하며, 처리 시간만으로 효과를 판단할 수 없습니다. 이미지는 카탈로그 제품의 예시이며 후보 장비를 설명하기 위한 것입니다.
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