Сравнивайте конфигурации оборудования по конечному критерию приемлемости материала; Каждую возможность необходимо подтвердить для выбранной модели.
При подготовке к корпусированию отдельно проверяйте выводные рамки, поверхности кристаллов и органические подложки; учитывайте затенение зоны бондинга, повреждение чувствительных структур и характер разрушения последующей границы герметизации.
Сначала определите загрязнение, подложку и следующий этап склеивания или нанесения покрытия; Удаление загрязнений и активацию поверхности следует оценивать раздельно; время обработки само по себе не определяет результат.
Проверьте частоту источника питания, газовые пути, тип электродов и затенение образцов. Процессы между RF и источниками другой частоты нельзя напрямую переносить только по совпадению численного значения мощности.
Отбирайте условия по контактному углу или поверхностной энергии, затем проверяйте их с фактическим клеем по прочности соединения, отслаиванию или характеру разрушения; Записывайте интервал между обработкой и склеиванием.
Наблюдайте повреждение поверхности, изменение цвета и нагрев вследствие избыточной обработки; Подтверждайте однородность внутри партии по образцам из разных позиций загрузки.
До испытания зафиксируйте исходное состояние образцов, схему загрузки, версию рецептуры и метод измерения. Заранее согласуйте конечный критерий приемлемости, затем сравните исходные кривые для разных позиций загрузки и результаты обработки материала. Уставку оборудования нельзя напрямую считать доказательством соответствия продукта.
Модели-кандидаты в текущем опубликованном каталоге: ESC-2V, ESC-5V . Эти модели служат кандидатами для сравнения вариантов. Их пригодность всё равно определяется проверкой в описанных выше условиях эксплуатации.
Для этого сравнения не были получены проверенные числовые параметры, разрешённые к публикации; Следует запросить актуальную спецификацию и условия испытаний с реальной загрузкой.
