Печь для чистых процессов

Название не дает такой гарантии. Источниками частиц могут быть изделия, упаковка, лотки, открытие двери и обслуживание фильтрации. Проверяйте среду камеры при заданных рабочих условиях и оценивайте поверхность изделий подходящим методом.

Условия чистой комнаты и внутренние характеристики оборудования подтверждают отдельно. Фильтрация, уплотнения, циркуляция и загрузочные операции влияют на частицы внутри камеры. Необходима проверка в реальных условиях установки и эксплуатации.

При выборе CLO основное внимание уделяют чистому нагреву и контролю частиц. LCO одновременно оценивают по частицам и защите от окисления. Газовую систему и фильтрацию уточняют для конкретной модели; одна группа показателей не заменяет другую.

Определите температуру, отвод газов и фильтрацию по окну отверждения полиимида, остаточным растворителям и требованиям к частицам на поверхности. Также уточните необходимость низкого содержания кислорода при отверждении PI; при таком требовании сравните LCO. Применение CLO проверяют по отверждению реального покрытия, адгезии и результатам контроля частиц, а не только по классу чистоты пустой камеры.

Предварительное и последующее запекание фоторезиста и отверждение полиимида имеют разные цели и температурные окна. Задавайте отдельные программы по требованиям рецептуры. Дополнительно оцените выделение растворителей, термостойкость фильтров и перекрестное загрязнение. До совместного использования оборудования проверьте процедуру очистки, остаточные загрязнения и состояние поверхности изделий.

Интервал замены зависит от рабочей температуры, газовыделения материалов, нагрузки по частицам и операций открытия двери. Составляйте план обслуживания по перепаду давления, расходу воздуха, измерениям частиц и состоянию фильтра. После замены проверьте герметичность установки и повторно измерьте частицы и распределение температуры в заданных условиях. Одного фиксированного календарного интервала недостаточно.

Укажите размеры изделий и носителей, загрузку, рабочую температуру, целевые размеры частиц и требования к их подсчету. Определите, проводится ли контроль в пустой камере или при полной загрузке. Если также требуются азот, измерение кислорода, водяное охлаждение или регистрация, перечислите их в одной спецификации и сравнивайте цены при одинаковых условиях измерения.