排気速度異常の原因調査:装置選定の要点
「排気速度異常の原因調査:装置選定の要点」では、まず具体的な材料の合格終点と実際の装入状態を明確にします。 以下の内容は、要件の検討と試料による検証に使用するものです。パラメータは、材料資料と具体的な装置構成に基づいて確認してください。
排気速度の異常は、まずポンプ性能、配管抵抗、試料のガス放出を区別し、各項目を基準データと比較します。
装置構成を判断する基準
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まず空チャンバーと装入後の排気曲線を比較し、漏れ、試料のガス放出、揮発物負荷を区別します; 一度の圧力上昇だけでシール不良と直接判定することはできません。
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同じ温度と隔離条件で圧力保持の変化を記録し、ドアシール、バルブ、継手、測定配管、ポンプを順に点検します。
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整備またはシール交換後に、基準状態と実際の装入状態での検証を繰り返します; 整備前後の曲線を保存し、乾燥終点と雰囲気安定性の回復を確認します。
試料試験と受入検査
試験前に、試料の初期状態、装填配置、レシピのバージョン、測定方法を記録してください。 合格判定の終点を事前に合意し、そのうえで装填位置ごとの生データ曲線と処理後の材料結果を比較してください。装置の設定値を、そのまま製品の合格を示す証拠として扱ってはいけません。
カタログ構成の確認
現在公開されているカタログの候補型式:ESC-VO1000-T6, ESC-VO125-T6, ESC-VO216-T6, ESC-VO27-T6。 これらの型式は構成案を比較するための候補です。適用できるかどうかは、上記の運転条件での検証によって判断してください。
CMSで検証済みかつ公開可能とされているパラメータ(記載された型式にのみ適用):
- ESC-VO1000-T6: 内槽寸法: 100010001000 mm
- ESC-VO1000-T6: 使用温度範囲: A:室温+25
200℃; B:室温+35300℃; C:室温+45400℃; D:室温+50500℃; E:室温+60~600℃
- ESC-VO1000-T6: 加熱システム: ステンレス製高速ヒーター
- ESC-VO1000-T6: 制御システム: タッチパネル式プログラム制御
- ESC-VO125-T6: 内槽寸法: 500500500 mm
- ESC-VO125-T6: 使用温度範囲: A:室温+25
200℃; B:室温+35300℃; C:室温+45400℃; D:室温+50500℃; E:室温+60~600℃
- ESC-VO125-T6: 加熱システム: ステンレス製高速ヒーター
- ESC-VO125-T6: 制御システム: タッチパネル式プログラム制御
- ESC-VO216-T6: 内槽寸法: 600600600 mm
- ESC-VO216-T6: 使用温度範囲: A:室温+25
200℃; B:室温+35300℃; C:室温+45400℃; D:室温+50500℃; E:室温+60~600℃
- ESC-VO216-T6: 加熱システム: ステンレス製高速ヒーターv
- ESC-VO216-T6: 制御システム: タッチパネル式プログラム制御
- ESC-VO27-T6: 内槽寸法: 300300300 mm
- ESC-VO27-T6: 使用温度範囲: A:室温+25
200℃; B:室温+35300℃; C:室温+45400℃; D:室温+50500℃; E:室温+60~600℃
- ESC-VO27-T6: 加熱システム: ステンレス製高速ヒーター
- ESC-VO27-T6: 制御システム: タッチパネル式プログラム制御