加圧オーブン

通常、そのまま代用することはできません。真空脱気はガスの放出を促し、加圧は気泡の体積と硬化環境を変化させます。材料やパッケージ構造によって適切な順序が異なるため、試験片で決定する必要があります。

一律には保証できません。混合時の含有ガス量、材料粘度、流動経路、硬化速度、圧力プログラムはいずれも結果に影響します。検査方法と許容ボイド基準を取り決め、圧力解放後に完成品を評価する必要があります。

試料寸法、バッチ当たりの質量、治具配置、材料の硬化条件範囲、運転圧力、目標サイクル、真空構成の要否も必要です。有効装入量と温度・圧力の切り替え時間が、ともに生産能力に影響します。

加圧硬化炉は主に加圧熱処理を行います。調達で真空加圧オーブンと呼ぶ場合は、真空前処理と対応するポンプ構成が含まれるかを明確にする必要があります。PCO の真空システムはオプションです。見積依頼では真空段階と正圧段階の目標、順序、受入条件を個別に示し、二つの能力を一つの機能として混同しないことが必要です。

IGBT の樹脂封止材と CUF 接着剤では、流動、ゲル化、硬化の条件範囲が異なります。まず材料の工程要求を入手し、加圧のタイミング、温度勾配、保持、圧力解放の条件を設定して、適切なボイド・界面検査方法を用います。同じ装置を使うことは、同じレシピをそのまま適用できることを意味しません。

まず銀ペーストの乾燥、硬化、焼結の要求を区別し、材料に指定された温度、雰囲気、圧力を確認します。通常の銀ペースト硬化を加圧支援焼結とそのまま同一視することはできません。レシピに応じて PCO、窒素、クリーンの各シリーズを比較し、装置の温度・圧力範囲と材料の処理終点を項目ごとに照合する必要があります。

封止材、接着層寸法、治具配置、バッチ数量、タクトを提示し、温度・圧力曲線、ワークの測温位置、ボイドまたは界面の検査方法を取り決めます。受入検査では、加圧、圧力解放、冷却、扉開放インターロックの実行条件も確認し、選定構成に記録機能が含まれるかを照合します。