無酸化オーブン

違います。無酸化は通常、材料の酸化を制御するという工程目標を指します。要求を満たすかどうかは材料、温度、時間、雰囲気、冷却過程に依存するため、測定曲線と試料の結果を併せて判断します。

有効装入量、雰囲気管理、循環方式、酸素濃度測定、冷却条件も比較する必要があります。同じ温度でも材料や工程サイクルによって異なる構成が必要になるため、同じ試料と処理終点で評価することをおすすめします。

粒子と酸化をそれぞれ受入検査項目に設定し、IGO の対応オプション、または LCO クリーン無酸化シリーズを評価します。フィルター構成、低酸素の維持、運転温度での両機能の組み合わせ性能をすべて確認する必要があります。

これらの名称は酸化を抑える要求を表すために使われることが多く、装置内が完全に無酸素であることを示すものではありません。材料、処理温度、許容酸素濃度、表面評価方法を提示し、ガス系統、シール、監視、冷却過程を比較します。IGO は酸化防止工程に基づいて選定し、真空や清浄度も必要な場合は対応する構成を別途確認する必要があります。

まず酸化が昇温、保持、冷却、取り出し後のどの段階で発生したかを切り分け、供給ガス純度、チャンバーのシール、測定位置、実際のワーク温度を確認します。装入物による遮蔽、表面残留物、扉開放温度も結果に影響するため、酸素濃度曲線と処理前後の表面記録を併せて分析します。

計時開始点が扉の閉鎖、窒素供給開始、プログラム開始のどれかを明確にし、酸素濃度の測定位置と目標到達後の保持条件を取り決めます。受入検査には代表的な装入条件を用い、流量、供給ガス、扉開放後の回復過程も記録することで、異なる構成の実際の生産タクトを比較できます。

合金、めっき、表面残留物、熱容量の違いによって、酸化と加熱の状態は変化します。同時処理の前に許容温度、ガス放出、交差汚染を確認し、代表ワークごとに表面を検査する必要があります。チャンバー内の酸素濃度と温度設定が同じでも、同じ部品結果が得られるとは限りません。