
ESC-NVO27-T6
ESC-NVO27-T6窒素導入真空オーブン
- 内槽寸法300*300*300 mm
- 使用温度範囲A:室温+25~200℃;B:室温+35~300℃;C:室温+45~400℃;D:室温+50~500℃;E:室温+60~600℃
全7件
カテゴリ:窒素導入真空オーブン絞り込みを解除

ESC-NVO27-T6

ESC-NVO72-T6

ESC-NVO125-T6

ESC-NVO216-T6

ESC-NVO343-T6

ESC-NVO512-T6

ESC-NVO1000-T6
機種比較
試料寸法、積載方法、温度条件に合わせて機種を絞り込めます。オプションは各製品の詳細ページに個別に記載しています。
| 型式 | 庫内寸法 | 使用温度範囲 | 詳細・構成 |
|---|---|---|---|
| ESC-NVO27-T6 | 300*300*300 mm | A:室温+25~200℃;B:室温+35~300℃;C:室温+45~400℃;D:室温+50~500℃;E:室温+60~600℃ | 構成を見る |
| ESC-NVO72-T6 | 400*450*400 mm | A:室温+25~200℃;B:室温+35~300℃;C:室温+45~400℃;D:室温+50~500℃;E:室温+60~600℃ | 構成を見る |
| ESC-NVO125-T6 | 500*500*500 mm | A:室温+25~200℃;B:室温+35~300℃;C:室温+45~400℃;D:室温+50~500℃;E:室温+60~600℃ | 構成を見る |
| ESC-NVO216-T6 | 600*600*600 mm | A:室温+25~200℃;B:室温+35~300℃;C:室温+45~400℃;D:室温+50~500℃;E:室温+60~600℃ | 構成を見る |
| ESC-NVO343-T6 | 700*700*700 mm | A:室温+25~200℃;B:室温+35~300℃;C:室温+45~400℃;D:室温+50~500℃;E:室温+60~600℃ | 構成を見る |
| ESC-NVO512-T6 | 800*800*800 mm | A:室温+25~200℃;B:室温+35~300℃;C:室温+45~400℃;D:室温+50~500℃;E:室温+60~600℃ | 構成を見る |
| ESC-NVO1000-T6 | 1000*1000*1000 mm | A:室温+25~200℃;B:室温+35~300℃;C:室温+45~400℃;D:室温+50~500℃;E:室温+60~600℃ | 構成を見る |
装置の用途
ESSENSCI NVO シリーズは真空と窒素充填を組み合わせ、半導体パッケージ、パワーモジュールの硬化、精密材料の熱処理に対応します。工程の要点は温度や酸素濃度の単独比較ではなく、真空排気、窒素充填、加熱、冷却をどのように連携させるかにあります。各段階の実行方法は機種と構成に応じて確認する必要があります。
関連する呼称:窒素真空オーブン、窒素充填真空オーブン
IGBT パッケージやパワーモジュールでは、封止用接着剤の硬化条件範囲に基づいて温度、雰囲気、時間を設定します。接着層とワークの温度を評価し、封止後の外観、界面、ボイドの検査結果も併せて確認します。
半導体、光電子部品、精密金属部品の試料には、真空置換と窒素保護を検討できます。圧力変化に敏感な構造では、まず減圧速度、ガス再充填速度、固定方法を検証してから量産プログラムを決定します。
ディスプレイパネルや大型産業用アセンブリは、チャンバー内の流れと加熱条件を変化させます。容量を拡大する際は、トレー間隔、ガス置換経路、満載時の温度分布も確認し、チャンバー容積だけで選定しないようにします。
選定と検収
許容酸素濃度、目標到達時間、保持時間、冷却の終点を提示します。供給ガスの純度、供給条件、酸素分析計の採取位置を記録し、実際の装入状態で扉開放後の回復性能を試験します。
真空排気、窒素充填、加熱の順序と、真空段階での循環ファンの運転条件をそれぞれ確認します。NVO と BVO を比較する場合は、具体的な機種の循環構造と工程での性能を基準とします。
コールドトラップ、ドライポンプ、酸素分析計、記録計、通信インターフェースは工程に応じて評価できます。見積依頼時に揮発成分、ガス供給、排気条件を提示し、温度、圧力、酸素濃度の記録範囲を取り決めます。
よくある質問
主な用途が減圧乾燥で窒素充填の要求がなければ、まず VO を評価できます。真空と窒素充填の連携が必要なら NVO を評価します。最終的には材料の耐熱性、運転圧力、雰囲気の維持、装入条件も確認する必要があります。
そうは判断できません。残留空気、漏れ、試料からのガス放出、供給ガスの条件はいずれもチャンバー内の酸素濃度に影響します。取り決めた位置での測定結果と保持曲線で評価し、窒素純度をチャンバー内の測定値の代わりにしないことが必要です。
これらの構成は具体的な機種とプログラムに合わせて確認する必要があります。予熱は再充填時の温度変化の評価に活用でき、循環方式では装入位置による温度差と気流の影響を確認します。粉体やフィルムの試料では事前検証が必要です。
排気によってチャンバー内のガスを減らし、プログラムに従って窒素を再充填して、加熱と冷却を組み合わせて材料を処理します。排気回数、再充填速度、窒素消費量は、チャンバー、装入状態、ガス放出、低酸素の目標に応じて決まります。窒素充填の効果を検証する際は、窒素流量だけでなくチャンバー内の酸素濃度を記録する必要があります。
電池電極用真空乾燥器は、電極の材質、ロールまたはシートの形態、塗膜の耐熱性、初期・目標含水率、バッチ当たりの装入量に基づいて選定します。電池の真空乾燥では、試料採取、搬送、冷却後の再吸湿防止条件も示す必要があります。NVO は真空と窒素充填の要求から評価でき、具体的な電池材料への適合性は水分測定と材料検証の結果で判断します。
順序は材料の揮発、発泡、構造の耐圧性、酸化への敏感さによって異なり、一律のプログラムは適用できません。まず少量の試料で段階的な昇温、緩やかな排気、ガス再充填の手順を比較し、ワーク温度、圧力、材料変化を記録してから、生産プログラムと異常停止後の復帰方法を決定できます。
チャンバーが大きくなった場合は、最も条件の厳しい位置のワーク温度、排気時間、ガス再充填経路、乾燥の終点を確認する必要があります。見積依頼時に装入図、トレー間隔、バッチ当たりの総質量を提示し、代表的な満載条件で温度、圧力、酸素濃度の曲線を記録します。無負荷時の到達圧力を、そのまま満載時の工程能力と見なしてはいけません。
工程の基礎知識
ESSENSCI · 工程のご相談
材料、試料寸法、1バッチ当たりの数量、目標温度をお知らせください。雰囲気、積載方法、設置場所の条件を踏まえ、装置の選定についてご相談を承ります。
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