技術情報

リードフレームの清浄乾燥：装置選定の要点：リードフレームは死角部の残水、表面粒子、後工程のボンディング性能を確認し、洗浄後の待ち時間を一定にします。 真空排気、窒素導入、加熱の実行順序と、真空モードで循環ファンを運転できるかをそれぞれ確認します。 圧力の切り替えに敏感な試料は、先に少量の試料で検証してください。

リードフレームの清浄乾燥：工程検証とリスク管理：リードフレームは死角部の残水、表面粒子、後工程のボンディング性能を確認し、洗浄後の待ち時間を一定にします。 真空排気、窒素導入、加熱の実行順序と、真空モードで循環ファンを運転できるかをそれぞれ確認します。 圧力の切り替えに敏感な試料は、先に少量の試料で検証してください。

封止材の硬化と脱泡：装置選定の要点：封止材の脱泡と硬化は別々に評価し、減圧発泡や早期硬化がポッティングに影響しないようにします。 冷却と取り出しの段階でも、酸化と再吸湿のリスクを引き続き確認します； 排気経路、ガス供給停止時の対応、現場の換気条件も確認してください。

封止材の硬化と脱泡：工程検証とリスク管理：封止材の脱泡と硬化は別々に評価し、減圧発泡や早期硬化がポッティングに影響しないようにします。 冷却と取り出しの段階でも、酸化と再吸湿のリスクを引き続き確認します； 排気経路、ガス供給停止時の対応、現場の換気条件も確認してください。

パワーデバイスの応力緩和：装置選定の要点：パワーデバイスの応力緩和は反りや応力の測定と併せて評価し、実際の試料温度曲線を確認します。 許容酸素濃度、その状態に達する時間、保持段階を分けて受け入れます； 窒素の純度、供給圧力、ガス消費量を記録してください。

パワーデバイスの応力緩和：工程検証とリスク管理：パワーデバイスの応力緩和は反りや応力の測定と併せて評価し、実際の試料温度曲線を確認します。 許容酸素濃度、その状態に達する時間、保持段階を分けて受け入れます； 窒素の純度、供給圧力、ガス消費量を記録してください。

セラミック基板の熱処理：装置選定の要点：セラミック基板は支持、反り、熱衝撃を確認し、工程温度がオーブンの範囲を超える場合は別途適切な炉形式を検討します。 酸素分析計の採取位置、応答遅延、校正方法を明確にします。 実際の装填状態と扉を開けた後の回復条件で試験してください。供給ガスの純度を、槽内の酸素濃度の代わりに用いてはいけません。

セラミック基板の熱処理：工程検証とリスク管理：セラミック基板は支持、反り、熱衝撃を確認し、工程温度がオーブンの範囲を超える場合は別途適切な炉形式を検討します。 酸素分析計の採取位置、応答遅延、校正方法を明確にします。 実際の装填状態と扉を開けた後の回復条件で試験してください。供給ガスの純度を、槽内の酸素濃度の代わりに用いてはいけません。