ESC-5V 小型真空プラズマ洗浄機
安勝 ESC-5V は、小型部品のバッチ生産、試作工程、大学での研究開発向けに設計された5L の小型真空プラズマ洗浄機です。 表面処理チャンバーに 316 ステンレス鋼を採用しています。
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| 外形寸法 | 560×540×410 mm |
| チャンバー寸法 | Φ150×270Lmm |
| チャンバー容量 | 5 L |
| 電極板 | 単層 |
| 電源周波数 | 40 KHz |
| 電源出力 | 0-300W（連続可変） |
| 流量計 | 高精度 2 系統フロート流量計 |
| 真空計 | 圧力計（数値表示） |
| 制御工程 | 全自動・手動制御（PLC 操作画面） |
| 洗浄時間 | 0- 9999S 調整可能 |
| 真空度 | 1-30 pa |
| チャンバー温度 | ＜60℃ |
| 電源電圧 | 220V |
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