ESC-BVO216-T6 真空強制循環窒素オーブン
安勝 ESC-BVO216-T6 真空強制循環窒素オーブン は、半導体 IGBT のパッケージングおよびパワーモジュールの硬化向けに設計された中・大型精密装置です。 超高温運転に対応し、最高温度は 600℃ です。 チャンバー容積は 216L です。 温度制御精度は ±0.5℃ です。 温度分布の均一性は ±2.5% です。
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| 内槽寸法 | 600*600*600 mm |
| 使用温度範囲 | 25~600 ℃ |
| 加熱システム | ステンレス高速ヒーター |
| 制御システム | タッチパネルプログラム制御型 |
| 真空度 | 標準真空（大気圧～-100kpa）/高真空 |
| 真空システム | 内蔵真空ポンプ（油式ポンプ）/ドライポンプ（オプション） |
| 窒素システム | 窒素ろ過：フロート流量計 |
| 安全装置 | 欠相保護，漏電保護，過負荷保護，過熱保護，故障警告灯 |
| オプション | ①コールドトラップ；②記録計；③オイルミストフィルター；④酸素濃度分析計；⑤ドライポンプ；⑥通信インターフェース；⑦バーコードスキャナー |
| 加熱方式 | SUS304ステンレス板/SUS316（オプション） |
| 電源 | AC220V単相三線式50Hz/AC380V三相五線式50Hz |
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