
ESC-LCO100-T5
ESC-LCO100-T5 無塵・無酸化オーブン
安勝 ESC-LCO100-T5 無塵・無酸化オーブン は、MEMS センサーのパッケージング、半導体の精密アニール、光電子部品向けに設計された100L の精密熱処理装置です。 T5 高温運転に対応し、最高温度は 500℃ です。 PID マイコンによる精密制御アルゴリズムを採用しています。 温度制御精度は ±0.1℃ です。 温度分布の均一性は ±2.0% です。 極限の温度環境でも高付加価値試料の熱的一貫性を確保します。
- 内槽寸法500*500*400 mm
- 使用温度範囲25~500 ℃

