자료실

재료 종점에 입자 침착 또는 표면 청정도가 포함되면 여과 순환 구성을 검토합니다; 두 종류의 장비를 비교할 때는 이름만 비교하지 말고 동일한 장입 조건과 측정 방법을 사용합니다. 필터 내열성, 설치 밀봉, 순환 공기 통로 및 유지보수 방식을 확인합니다; 클린룸에 설치되어 있다는 사실만으로 장비 내부의 청정 성능이 입증되지는 않습니다.

먼저 후보 장비가 실제로 RF 또는 다른 주파수 전원을 사용하는지 확인하고, 필요한 가스, 스테이지 및 유효 처리 공간을 검증합니다; 서로 다른 위치의 시험편으로 표면 결과를 비교합니다. 전원 주파수, 가스 경로, 전극 형식 및 시료 가림 상태를 확인합니다. RF와 다른 주파수 전원 간 공정은 출력 숫자만 맞춰 직접 이전할 수 없습니다.

유지보수 전 기준 곡선을 저장하고, 증상에 따라 온도 센서, 도어 밀봉, 가스 경로, 공기 통로 및 필터를 각각 점검합니다; 유지보수 후 동일한 장입 조건으로 다시 측정하고, 레시피가 바뀌었는지 기록합니다. 현장의 전원, 가스 공급, 배기, 운반 통로 및 유지보수 공간을 확인하고, 입고 검사와 설치·시운전 기록을 보관합니다.

견적 첨부 자료에는 재료와 휘발물, 시료와 지그를 포함한 치수, 목표 종점, 배치당 수량 및 현장 조건을 포함해야 합니다; 필수 요구 사항과 희망 옵션을 구분합니다. 현장의 전원, 가스 공급, 배기, 운반 통로 및 유지보수 공간을 확인하고, 입고 검사와 설치·시운전 기록을 보관합니다.

열에 민감한 재료의 저온 탈수: 장비 선정 핵심 사항: 열에 민감한 재료는 먼저 변형이나 분해가 발생하는 온도 한계를 확인하고, 시료 온도와 잔류 수분으로 저온 탈수 효과를 함께 판단합니다. 시료, 트레이 및 가열면의 접촉 방식을 확인합니다. 저압에서는 열전달 조건이 달라지므로, 제어기가 설정값에 도달해도 시료 내부는 계속 가열되고 있을 수 있습니다.

열에 민감한 재료의 저온 탈수: 공정 검증 및 위험 관리: 열에 민감한 재료는 먼저 변형이나 분해가 발생하는 온도 한계를 확인하고, 시료 온도와 잔류 수분으로 저온 탈수 효과를 함께 판단합니다. 시료, 트레이 및 가열면의 접촉 방식을 확인합니다. 저압에서는 열전달 조건이 달라지므로, 제어기가 설정값에 도달해도 시료 내부는 계속 가열되고 있을 수 있습니다.

잔류 용매 관리: 장비 선정 핵심 사항: 잔류 용매에 맞는 분석 방법을 선택하고, 배기 응축물, 펌프 보호 및 용기 깊이를 시료 시험에 포함합니다. 휘발물 종류에 따라 펌프, 밀봉재, 콜드 트랩 또는 응축 포집 장치의 적합성을 확인합니다; 일반 진공 오븐 구성만으로 가연성 용매에 적합하다고 추정해서는 안 됩니다.

잔류 용매 관리: 공정 검증 및 위험 관리: 잔류 용매에 맞는 분석 방법을 선택하고, 배기 응축물, 펌프 보호 및 용기 깊이를 시료 시험에 포함합니다. 휘발물 종류에 따라 펌프, 밀봉재, 콜드 트랩 또는 응축 포집 장치의 적합성을 확인합니다; 일반 진공 오븐 구성만으로 가연성 용매에 적합하다고 추정해서는 안 됩니다.