ESC-BVO72-T6
ESC-BVO72-T6 真空強制循環窒素オーブン
安勝 ESC-BVO72-T6 真空強制循環窒素オーブン は、半導体、光電子、精密金属部品の各産業向けに設計された72L の標準型熱処理装置です。 T6 超高温運転に対応し、最高温度は 600℃ です。 温度制御精度は ±0.5℃ です。 温度分布の均一性は ±2.5% です。 極限の工程環境で非常に高い温度安定性を確保します。
材料の合格判定の終点を基準に、装置構成を比較してください。 各機能・性能は、選定した型式で確認してください。
BVO と NVO の違いは、具体的な型式のファン、真空、窒素導入の実行方式で確認する必要があります。 トレーに装入したバッチワークは、循環風下での均一性を重点的に検証します； 粉末、薄膜、粉じんが舞いやすい試料は、気流による乱れも確認します。
許容酸素濃度、その状態に達する時間、保持段階を分けて受け入れます； 窒素の純度、供給圧力、ガス消費量を記録してください。
酸素分析計の採取位置、応答遅延、校正方法を明確にします。 実際の装填状態と扉を開けた後の回復条件で試験してください。供給ガスの純度を、槽内の酸素濃度の代わりに用いてはいけません。
真空排気、窒素導入、加熱の実行順序と、真空モードで循環ファンを運転できるかをそれぞれ確認します。 圧力の切り替えに敏感な試料は、先に少量の試料で検証してください。
冷却と取り出しの段階でも、酸化と再吸湿のリスクを引き続き確認します； 排気経路、ガス供給停止時の対応、現場の換気条件も確認してください。
試験前に、試料の初期状態、装填配置、レシピのバージョン、測定方法を記録してください。 合格判定の終点を事前に合意し、そのうえで装填位置ごとの生データ曲線と処理後の材料結果を比較してください。装置の設定値を、そのまま製品の合格を示す証拠として扱ってはいけません。
現在公開されているカタログの候補型式：ESC-BVO1000-T6, ESC-BVO125-T6, ESC-BVO216-T6, ESC-BVO343-T6。 これらの型式は構成案を比較するための候補です。適用できるかどうかは、上記の運転条件での検証によって判断してください。
CMSで検証済みかつ公開可能とされているパラメータ（記載された型式にのみ適用）：