VO と HTO の選択：工程検証とリスク管理
「VO と HTO の選択：工程検証とリスク管理」では、まず具体的な材料の合格終点と実際の装入状態を明確にします。 以下の内容は、要件の検討と試料による検証に使用するものです。パラメータは、材料資料と具体的な装置構成に基づいて確認してください。
VO と HTO は、まず減圧が必須か判断し、真空での伝熱と空気循環の条件をそれぞれ確認します。
工程検証の手順
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トレーの有効面積、ワーク段数、間隔、バッチごとの熱負荷でスケールアップ目標を表します； 公称容積の比率から生産能力を直接換算することはできません。
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小規模試験の材料終点と試料温度範囲を維持し、大型チャンバーの昇温、排気、置換、冷却時間を測定し直します。
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最も不利な装入位置で小規模試験とパイロット試験の結果を比較し、その後でバッチごとの合格数量と全サイクル時間を評価します。
試料試験と受入検査
検証報告書には、センサーと校正状態、生データ曲線、材料の結果、異常現象、工程を受け入れるか修正するかの判断根拠を記載してください。 結果が一致しない場合は、まず試料状態、装填、装置の挙動の変化を切り分け、その後にパラメータを調整してください。
カタログ構成の確認
現在公開されているカタログの候補型式：ESC-VO1000-T6, ESC-VO125-T6, ESC-VO216-T6, ESC-VO27-T6。 これらの型式は構成案を比較するための候補です。適用できるかどうかは、上記の運転条件での検証によって判断してください。
CMSで検証済みかつ公開可能とされているパラメータ（記載された型式にのみ適用）：
- ESC-VO1000-T6: 内槽寸法: 100010001000 mm
- ESC-VO1000-T6: 使用温度範囲: A:室温+25
200℃； B:室温+35300℃； C:室温+45400℃； D:室温+50500℃； E:室温+60~600℃
- ESC-VO1000-T6: 加熱システム: ステンレス製高速ヒーター
- ESC-VO1000-T6: 制御システム: タッチパネル式プログラム制御
- ESC-VO125-T6: 内槽寸法: 500500500 mm
- ESC-VO125-T6: 使用温度範囲: A:室温+25
200℃； B:室温+35300℃； C:室温+45400℃； D:室温+50500℃； E:室温+60~600℃
- ESC-VO125-T6: 加熱システム: ステンレス製高速ヒーター
- ESC-VO125-T6: 制御システム: タッチパネル式プログラム制御
- ESC-VO216-T6: 内槽寸法: 600600600 mm
- ESC-VO216-T6: 使用温度範囲: A:室温+25
200℃； B:室温+35300℃； C:室温+45400℃； D:室温+50500℃； E:室温+60~600℃
- ESC-VO216-T6: 加熱システム: ステンレス製高速ヒーターv
- ESC-VO216-T6: 制御システム: タッチパネル式プログラム制御
- ESC-VO27-T6: 内槽寸法: 300300300 mm
- ESC-VO27-T6: 使用温度範囲: A:室温+25
200℃； B:室温+35300℃； C:室温+45400℃； D:室温+50500℃； E:室温+60~600℃
- ESC-VO27-T6: 加熱システム: ステンレス製高速ヒーター
- ESC-VO27-T6: 制御システム: タッチパネル式プログラム制御
