VO と HTO の選択：装置選定の要点
「VO と HTO の選択：装置選定の要点」では、まず具体的な材料の合格終点と実際の装入状態を明確にします。 以下の内容は、要件の検討と試料による検証に使用するものです。パラメータは、材料資料と具体的な装置構成に基づいて確認してください。
VO と HTO は、まず減圧が必須か判断し、真空での伝熱と空気循環の条件をそれぞれ確認します。
装置構成を判断する基準
-
トレーの有効面積、ワーク段数、間隔、バッチごとの熱負荷でスケールアップ目標を表します； 公称容積の比率から生産能力を直接換算することはできません。
-
小規模試験の材料終点と試料温度範囲を維持し、大型チャンバーの昇温、排気、置換、冷却時間を測定し直します。
-
最も不利な装入位置で小規模試験とパイロット試験の結果を比較し、その後でバッチごとの合格数量と全サイクル時間を評価します。
試料試験と受入検査
試験前に、試料の初期状態、装填配置、レシピのバージョン、測定方法を記録してください。 合格判定の終点を事前に合意し、そのうえで装填位置ごとの生データ曲線と処理後の材料結果を比較してください。装置の設定値を、そのまま製品の合格を示す証拠として扱ってはいけません。
カタログ構成の確認
現在公開されているカタログの候補型式：ESC-VO1000-T6, ESC-VO125-T6, ESC-VO216-T6, ESC-VO27-T6。 これらの型式は構成案を比較するための候補です。適用できるかどうかは、上記の運転条件での検証によって判断してください。
CMSで検証済みかつ公開可能とされているパラメータ（記載された型式にのみ適用）：
- ESC-VO1000-T6: 内槽寸法: 100010001000 mm
- ESC-VO1000-T6: 使用温度範囲: A:室温+25
200℃； B:室温+35300℃； C:室温+45400℃； D:室温+50500℃； E:室温+60~600℃
- ESC-VO1000-T6: 加熱システム: ステンレス製高速ヒーター
- ESC-VO1000-T6: 制御システム: タッチパネル式プログラム制御
- ESC-VO125-T6: 内槽寸法: 500500500 mm
- ESC-VO125-T6: 使用温度範囲: A:室温+25
200℃； B:室温+35300℃； C:室温+45400℃； D:室温+50500℃； E:室温+60~600℃
- ESC-VO125-T6: 加熱システム: ステンレス製高速ヒーター
- ESC-VO125-T6: 制御システム: タッチパネル式プログラム制御
- ESC-VO216-T6: 内槽寸法: 600600600 mm
- ESC-VO216-T6: 使用温度範囲: A:室温+25
200℃； B:室温+35300℃； C:室温+45400℃； D:室温+50500℃； E:室温+60~600℃
- ESC-VO216-T6: 加熱システム: ステンレス製高速ヒーターv
- ESC-VO216-T6: 制御システム: タッチパネル式プログラム制御
- ESC-VO27-T6: 内槽寸法: 300300300 mm
- ESC-VO27-T6: 使用温度範囲: A:室温+25
200℃； B:室温+35300℃； C:室温+45400℃； D:室温+50500℃； E:室温+60~600℃
- ESC-VO27-T6: 加熱システム: ステンレス製高速ヒーター
- ESC-VO27-T6: 制御システム: タッチパネル式プログラム制御
