ESC-CLO4500-T5 クリーンオーブン
安勝 ESC-CLO4500-T5 クリーンオーブン は、車載 HUD レンズ、大型光電子部品、半導体材料の大量生産向けに設計された4500L のフラッグシップ超大型精密熱処理装置です。 T5 高温運転に対応し、最高温度は 500℃ です。 広い有効容積は 約 10m³ です。 PID 精密制御アルゴリズムを採用しています。 温度制御精度は ±0.1℃ です。 温度分布の均一性は ±2.0% です。
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| 内槽寸法 | 3000*1000*1500 mm |
| 使用温度範囲 | 25~500 ℃ |
| 作業チャンバー | 単槽 |
| 加熱方式 | 熱風循環/熱放射 |
| 加熱システム | 無塵高速ヒーター |
| ろ過システム | 耐熱高性能フィルターを採用 |
| 清浄度クラス | Class100/Class1000/Class10000/Class100000 |
| 制御システム | タッチパネルプログラム制御型 |
| 安全装置 | 欠相保護，漏電保護，過負荷保護，過熱保護，故障警告灯 |
| オプション | ①記録計；②酸素濃度分析計；③窒素システム；④UPS;⑤バーコードスキャナー；⑥水冷式冷却システム；⑦台車；⑧通信インターフェース |
| 電源 | AC220V単相三線式50Hz/AC380V三相五線式50Hz |
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