ESC-NVO216-T6 窒素導入真空オーブン
安勝 ESC-NVO216-T6 窒素導入真空オーブン は、半導体 IGBT のパッケージングおよびパワーモジュールの硬化向けに設計された中・大型装置です。 超高温運転に対応し、最高温度は 600℃ です。 チャンバー容積は 216L です。 温度制御精度は ±0.5℃ です。 中核技術は、15分以内に酸素濃度を 20ppm 未満へ下げる急速酸素低減と、熱衝撃を解消する窒素予熱システムです。酸化欠陥を防止し、高い温度分布の均一性を確保します。 精密な窒素節約バルブを装備し、運用コストを 25% 削減できます。 データの監査追跡に対応し、改ざんできない温度・圧力の履歴記録をワンクリックで出力できます。研究と試作生産に安全で理想的な、全工程を追跡できる熱処理環境を提供します。
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| 内槽寸法 | 500*500*500 mm |
| 使用温度範囲 | A:室温+25~200℃;B:室温+35~300℃;C:室温+45~400℃;D:室温+50~500℃;E:室温+60~600℃ |
| 加熱システム | ステンレス高速ヒーター |
| 制御システム | タッチパネルプログラム制御型 |
| 真空度 | 通常真空(大気圧~-100kpa)/高真空 |
| 真空システム | 内蔵真空ポンプ(油式ポンプ)/ドライポンプ(オプション) |
| 窒素システム | 窒素ろ過;フロート流量計 |
| 安全装置 | 欠相保護,漏電保護,過負荷保護,過熱保護,故障警告灯 |
| オプション | ①コールドトラップ;②記録計;③オイルミストフィルター;④酸素濃度分析計;⑤ドライポンプ;⑥通信インターフェース |
| 電源 | AC220V単相三線式50Hz/AC380V三相五線式50Hz |
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