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安勝 ESC-CLO423-T5 クリーンオーブン は、フレキシブル OLED ディスプレイ基板、5G 通信モジュール、精密医療機器向けに設計された423L の中・大型精密熱処理装置です。 T5 高温運転に対応し、最高温度は 500℃ です。 H14 等級の耐熱高性能フィルター（HEPA）と全閉路循環ダクトにより、チャンバー内を継続して Class 100 の清浄度に保ち、微粒子汚染を発生源で防止します。