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低粒子熱風循環の適用場面
低粒子熱風循環の適用場面:低粒子循環は温度と粒子の結果を同時に確認し、実際のトレーが風路を変えていないか観察します。 フィルター耐熱性、取付部のシール、循環風路、保守方法を確認します; クリーンルームへの設置自体は、装置内部の清浄性能を証明しません。 画像はカタログ製品の参考イメージであり、候補となる装置を説明するためのものです。
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