用途別ガイド

封止材の硬化と脱泡の適用場面：封止材の脱泡と硬化は別々に評価し、減圧発泡や早期硬化がポッティングに影響しないようにします。 冷却と取り出しの段階でも、酸化と再吸湿のリスクを引き続き確認します； 排気経路、ガス供給停止時の対応、現場の換気条件も確認してください。 画像はカタログ製品の参考イメージであり、候補となる装置を説明するためのものです。

リードフレームの清浄乾燥の適用場面：リードフレームは死角部の残水、表面粒子、後工程のボンディング性能を確認し、洗浄後の待ち時間を一定にします。 真空排気、窒素導入、加熱の実行順序と、真空モードで循環ファンを運転できるかをそれぞれ確認します。 圧力の切り替えに敏感な試料は、先に少量の試料で検証してください。 画像はカタログ製品の参考イメージであり、候補となる装置を説明するためのものです。

IGBT モジュールの低酸素硬化の適用場面：IGBT モジュールは接着層と内部の熱負荷が大きい位置に測定点を設け、封止後の結果で硬化を確認します。 酸素分析計の採取位置、応答遅延、校正方法を明確にします。 実際の装填状態と扉を開けた後の回復条件で試験してください。供給ガスの純度を、槽内の酸素濃度の代わりに用いてはいけません。 画像はカタログ製品の参考イメージであり、候補となる装置を説明するためのものです。

低酸素工程のバッチ間一貫性の適用場面：低酸素工程のバッチ間一貫性は、装入方法や開扉操作の変化を比較し、酸素曲線と処理結果を保管します。 酸素分析計の採取位置、応答遅延、校正方法を明確にします。 実際の装填状態と扉を開けた後の回復条件で試験してください。供給ガスの純度を、槽内の酸素濃度の代わりに用いてはいけません。 画像はカタログ製品の参考イメージであり、候補となる装置を説明するためのものです。

真空置換を併用した酸素低減の適用場面：真空置換では各段階の圧力、ガス導入終点、酸素指示値を記録し、試料が圧力切替に耐えられるか確認します。 許容酸素濃度、その状態に達する時間、保持段階を分けて受け入れます； 窒素の純度、供給圧力、ガス消費量を記録してください。 画像はカタログ製品の参考イメージであり、候補となる装置を説明するためのものです。

酸素濃度警報の設定方針の適用場面：酸素警報は遅延、作動記録、装置の応答を確認し、センサー故障を検知できるか検証します。 冷却と取り出しの段階でも、酸化と再吸湿のリスクを引き続き確認します； 排気経路、ガス供給停止時の対応、現場の換気条件も確認してください。 画像はカタログ製品の参考イメージであり、候補となる装置を説明するためのものです。

酸素低減時間の最適化の適用場面：酸素低減時間は、同じ装入量、初期酸素状態、ガス供給条件で全体の曲線を比較します。 真空排気、窒素導入、加熱の実行順序と、真空モードで循環ファンを運転できるかをそれぞれ確認します。 圧力の切り替えに敏感な試料は、先に少量の試料で検証してください。 画像はカタログ製品の参考イメージであり、候補となる装置を説明するためのものです。