산소 함량은 열처리 챔버 안에 남아 있는 산소의 농도를 뜻하며, 보통 ppm으로 표시한다. 산화되기 쉬운 재료, 반도체 패키징 및 신에너지 배터리 부품의 경우 저산소 환경이 산화, 변색 및 계면 결함을 줄일 수 있다. ESSENSCI의 질소 충전 진공 오븐은 진공 배기와 질소 치환을 통해 산소 함량을 제어한다.
산소 저감 시간은 장비가 초기 공기 환경에서 목표 산소 함량에 도달하는 데 필요한 시간으로, 진공 배기, 가스 치환 및 가스 배관 설계의 효율을 보여준다. 이 시간이 짧을수록 배치 전환 속도를 높이고 시료가 산소 함유 환경에 노출되는 시간을 줄일 수 있다. 질소 충전 장비를 평가할 때에는 목표 ppm, 챔버 용적 및 질소 소비량을 종합적으로 고려해야 한다.
