질소 충전 보호는 챔버에 질소를 지속적으로 또는 단계적으로 공급해 산소 함량을 낮추고 불활성 분위기를 조성하는 공정 방법이다. 고온 건조, 경화 및 어닐링 과정의 산화 결함을 줄일 수 있어 특히 반도체, 신에너지 배터리 및 정밀 금속 부품에 적합하다. ESSENSCI의 NVO, BVO, NO, IGO 및 LCO 시리즈는 모두 분위기 제어를 중심으로 설계되었다.
질소 예열은 질소가 챔버에 들어가기 전에 가열해 차가운 기류가 시료와 온도장에 충격을 주지 않도록 하는 것이다. 이 설계는 온도 변동과 열응력을 줄이고 질소 충전 단계의 공정 안정성을 높이는 데 도움이 된다. 고가의 시료와 대형 챔버 장비에서는 질소 예열이 열처리 일관성을 크게 개선할 수 있다.
