진공 건조는 저압 환경에서 수분이나 용매의 끓는점을 낮춰 재료가 더 낮은 온도에서 증발하도록 하는 열처리 공정이다. 열에 민감한 재료, 전자 부품 및 배터리 소재에 적합하며 산화, 변형, 잔류물 위험을 줄일 수 있다. ESSENSCI의 진공 오븐과 질소 충전 진공 오븐은 이러한 공정 범위에서 흔히 사용된다.
진공도는 챔버 내부 기체 압력이 대기압보다 낮은 정도를 나타내며, 진공 건조, 탈포 및 기밀성 시험 능력을 판단하는 핵심 매개변수다. 진공도가 더 안정적이면 끓는점을 낮추고 휘발성 물질을 배출하며 공정 일관성을 개선하는 데 도움이 된다. 장비 선정 시에는 도달 진공도, 배기 속도 및 챔버 밀봉 구조를 함께 살펴야 한다.
진공 탈포는 음압으로 기포의 팽창과 이탈에 대한 저항을 낮춰 접착제, 수지, 슬러리 또는 시료 내부에 갇힌 기체를 제거하는 공정이다. 패키징, 코팅 및 포팅 품질을 개선하고 기공과 계면 결함을 줄일 수 있다. 진공 오븐과 진공 누설 검사 장비 모두 음압 환경 제어가 필요할 수 있다.