용어 사전

HEPA 고효율 필터는 공기 중의 미세 입자를 포집하며, 클린 오븐과 무진 열처리 장비의 핵심 부품이다. 챔버 순환 공기의 입자 오염 위험을 낮춰 광전자, 반도체 및 의료기기 시료를 보호할 수 있다. 고온 환경에서는 여재의 내열 등급과 밀봉 신뢰성도 확인해야 한다.

H14는 고효율 공기 필터 등급 중 하나로, 입자 제어 요구가 높은 클린 장비에 주로 사용된다. H14 내열 필터를 장착한 클린 오븐은 열처리 중 미세먼지 오염을 지속적으로 제어할 수 있다. 장비 선정 시에는 여과 효율, 내열 성능 및 유지보수·교체 주기를 함께 고려해야 한다.