ESC-BVO72-T6
ESC-BVO72-T6 真空鼓風充氮烘箱
安勝 ESC-BVO72-T6 真空鼓風充氮烘箱是一款專為半導體、光電及精密五金行業設計的 72L 標準型熱處理裝置。它支援最高 600℃ 的超高溫執行（T6 等級），控溫精度高達 ±0.5℃，溫場均勻度達 ±2.5%，確保了極端製程下的溫場穩定性。
以材料合格終點比較裝置配置；每項能力均須在選定型號上確認。
BVO 與 NVO 的區別必須落到具體型號的風機、真空與充氮執行方式上。批次托盤工件重點驗證循環風下的均勻度；粉末、薄膜或易揚塵樣品還應檢查風流擾動。
把允許氧含量、達到該狀態的時間和保持階段分開驗收；記錄氮氣純度、供氣壓力與耗氣情況。
明確氧分析儀的取樣位置、響應延遲和校正方法。應在真實裝載及開門後恢復條件下測試，不能用氣源純度替代腔體氧含量。
分別確認抽真空、充氮和加熱的執行順序，以及真空模式下循環風機能否執行。對壓力轉換敏感的樣品先做小樣驗證。
在冷卻與取出階段繼續檢查氧化和回潮風險；同時核對排氣路線、供氣中斷響應與現場通風條件。
試驗前記錄樣品初始狀態、裝載佈局、配方版本與量測方法。預先約定合格終點，再比較不同裝載位置的原始曲線和處理後材料結果，不能把裝置設定值直接當作產品合格證據。
當前釋出目錄中的候選型號：ESC-BVO1000-T6、ESC-BVO125-T6、ESC-BVO216-T6、ESC-BVO343-T6。這些型號用於方案比較，是否適用仍取決於以上工況驗證。
CMS 中標記為已核驗且允許公開的參數（僅對應所列型號）：