氮氣烘箱

不能從氮氣烘箱名稱推定真空能力。若製程需要抽真空或真空置換，應評估 NVO、BVO 等對應配置，並確認目標工作壓力與程序。

NO 以氮氣保護熱處理為重點，IGO 以防氧化製程需求為重點。比較時應核對氣路、監測、循環、裝載和冷卻條件，以同一材料終點評估，不能憑名稱判斷氧含量高低。

不能。開門帶入空氣、密封狀態、樣品釋氣和氣路流動都會改變腔內氧含量。需要低氧判定時，應使用合適的分析儀測量並記錄實際操作條件。

這些是採購時常見的名稱，但不能僅憑名稱確認真空、低氧或水分控制能力。NO 適合依氮氣保護加熱需求評估；需要抽真空時應比較 NVO 或 BVO，需要潔淨顆粒控制時應比較 CLO 或 LCO，並分別列出驗收指標。

先確認材料退火溫度、表面氧化限值與所需冷卻速率，再核對設備工作範圍。氮氣保護應涵蓋材料敏感的加熱、維持與冷卻階段，並以工件實際溫度及處理後的材料結果驗收；僅有氮氣接頭，不能證明退火製程已具備所需條件。

持續供氣或分階段補氣，應依密封、樣品釋氣、開門頻率與允許氧含量決定。建議在典型裝載下記錄降氧、維持與冷卻曲線，同時記錄氮氣消耗量，再評估流量設定與運轉程序，避免僅以較大流量判斷效果。

定值控溫以單一設定溫度運轉；程式控溫可安排分段升溫、維持與冷卻條件。NO 的公開控制配置為觸控螢幕程式控制型，實際段數、計時起點與資料記錄功能仍應依控制方案確認，尤其需區分空氣溫度與工件溫度達到目標的時間。