充氮真空烘箱

主要任務是減壓乾燥且沒有充氮要求時，可先評估 VO；需要真空與充氮配合時，可評估 NVO。最終還要核對材料耐溫、工作壓力、氣氛保持及裝載條件。

不能。殘留空氣、洩漏、樣品釋氣和氣源條件都會影響腔內氧含量。應以約定位置的測量結果及保持曲線評估，不能用氮氣純度代替腔內讀數。

這些配置需結合具體機型和程序確認。預熱可用於評估回填時的溫度變化，循環方案則需檢查裝載溫差及氣流擾動；粉體或薄膜樣品應先驗證。

先透過抽氣減少腔內氣體，再依程序回填氮氣，並配合加熱與冷卻完成材料處理。抽氣次數、回填速率與氮氣消耗量，取決於腔體、裝載、釋氣及低氧目標。需要驗證充氮效果時，應記錄腔內氧含量，不能只查看氮氣流量。

電池電極片真空乾燥箱需依電極片材質、捲材或片材形態、塗層耐溫、初始與目標含水量及單批裝載條件選型。電池真空乾燥還應說明取樣、轉運與冷卻後的防止回潮條件。NVO 可依真空與充氮需求評估，是否適合特定電池材料，須依含水量檢測與材料驗證結果判斷。

順序取決於材料揮發、起泡、結構耐壓與氧化敏感程度，不能套用統一程序。可先以小批樣品比較分段升溫、緩慢抽氣與回填步驟，記錄工件溫度、壓力及材料變化，再確認生產程序與異常停機後的恢復方式。

腔體加大後，需核對最不利位置的工件溫度、抽氣時間、回填路徑與乾燥終點。詢價時請提供裝載圖、承載盤間距及單批總重量，並以典型滿載記錄溫度、壓力與氧含量曲線；不能將空載極限壓力直接視為滿載製程能力。