無塵無氧化烘箱

需結合製程判斷。設備內部顆粒、氣氛、釋氣和清潔維護要求，與現場潔淨室管理條件均有關；應在預定裝載、溫度和操作流程下驗證。

不能。過濾主要針對顆粒，氧含量取決於供氣、密封、置換及樣品釋氣等條件。潔淨與低氧應採用不同測量方法，並分別設定驗收要求。

當工件既有顆粒指標，又要求控制加熱和冷卻中的氧化時，可評估 LCO。比較時應使用同樣材料、裝載和檢測方法，確認組合配置是否滿足全週期目標。

採購名稱可能同時涉及顆粒與氧化控制，選型時應將兩類指標分別列出。LCO 可依潔淨低氧的組合製程評估，核對工作溫度下的過濾、供氮與氧含量檢測配置，再以實際裝載確認兩項指標是否能在同一階段符合要求。

當配方或工件同時要求控制表面顆粒與氧化時，可評估 LCO。請提供膠材固化條件範圍、釋氣與敏感表面要求，並確認過濾維護及排氣條件。是否適用應依固化、附著或電性等材料檢測結果判定，不能僅憑膠材名稱選擇。

氧含量與水分是不同指標，不能互相取代。若材料對吸溼敏感，還應列出氣源露點、材料初始與目標含水量、取樣及轉運條件，分別採用水分檢測與氧含量記錄驗收。

恢復時間受開門時間長短、承載盤與工件狀態、供氮流量及過濾循環影響。應約定關門後的計時起點與取樣位置，同時記錄顆粒和氧含量；待兩項指標與溫度都達到製程要求後，再判斷是否可以開始下一批處理。