潔淨烘箱

不能由名稱作此保證。工件、包裝、承載盤、開門操作及過濾維護都可能帶入顆粒。應按規定操作條件檢測腔內環境，並採用適合的方法評估工件表面。

潔淨室條件與設備內部性能需要分別確認。設備過濾、密封、循環風及裝載操作會影響腔內顆粒，需在實際安裝和運轉條件下驗證。

CLO 重點評估潔淨加熱與顆粒控制，LCO 則同時評估顆粒和防氧化需求。具體氣氛與過濾配置應按型號確認，兩類指標不能相互替代。

先依聚醯亞胺材料的固化條件範圍、殘留溶劑與表面顆粒要求，確認溫度、排氣及過濾方案。選擇 PI 固化爐時，還需確認是否有低氧需求；若有，可比較 LCO。CLO 的應用應以實際塗層的固化、附著及顆粒檢測結果驗證，不能只看空載潔淨等級。

光阻預烘、後烘與 PI 固化的處理目的及溫度條件範圍不同，應分別依配方要求設定程式。還需評估溶劑釋放、過濾器耐溫及交叉汙染的影響；共用設備前，應驗證清潔流程、殘留物與工件表面結果。

更換週期與工作溫度、材料釋氣、顆粒負荷及開門操作有關，應結合壓差、風量、顆粒檢測與過濾器狀態制定維護計畫。更換後需檢查安裝密封，並重新量測規定操作條件下的顆粒與溫度分佈，不能只依固定月數判斷。

請提供工件與載具尺寸、裝載量、工作溫度、目標顆粒粒徑及計數要求，並說明檢測採用空載或滿載。若還需要氮氣、氧含量檢測、水冷或記錄功能，應在同一份配置表中列明，以相同檢測條件比較報價。